SiC Gofret Qayıqları

Silicon Carbide (SiC) keramikadan hazırlanmış Semicorex SiC Wafer Boat, yüksək temperaturlu mühitlərdə misilsiz performans göstərməklə yarımkeçiricilər sənayesinin tələblərinə cavab verməkdə liderlik edir. Yarımkeçiricilər sənayesi mikrofabrikasiyanın sərhədlərini amansızcasına itələdikcə, möhkəm və möhkəm materiallara tələbat böyük olur.

SiC Wafer Boat, diffuziya, oksidləşmə və kimyəvi buxar çökmə (CVD) kimi istilik prosesləri zamanı çoxsaylı vaflilərin saxlanmasında və dəstəklənməsində mühüm rol oynayır. Bu proseslər vaflilərin idarə olunan atmosferdə çox yüksək, çox vaxt 1000°C-dən yuxarı temperaturlara məruz qalmasını əhatə edir. Bu istilik müalicələrinin vahidliyi və ardıcıllığı istehsal olunan yarımkeçirici cihazların keyfiyyətini və performansını təmin etmək üçün vacibdir. SiC Wafer Boat-ın deformasiya və ya deqradasiya olmadan belə yüksək temperaturlara tab gətirmək qabiliyyəti vaflilərin vahid şəkildə işlənməsini təmin edir, bu da cihazın məhsuldarlığının və məhsuldarlığının yüksək olmasına səbəb olur.

SiC vafli qayıqların müstəsna istilik keçiriciliyi yarımkeçirici cihazlarda qüsurlara səbəb ola biləcək temperatur qradiyenti riskini minimuma endirərək, bütün vaflilərdə istilik bərabər paylanmasına zəmanət verir. Bundan əlavə, SiC-nin aşağı istilik genişlənmə əmsalı (CTE) istilik və soyutma dövrlərində minimal istilik genişlənməsi və daralması ilə nəticələnir. Bu sabitlik mexaniki gərginliyin və vaflilərə potensial zərərin qarşısını almaq üçün çox vacibdir, xüsusən də kiçilən cihaz həndəsələri ilə.

Termal proseslər zamanı vaflilər SiC vafli qayığın materialları ilə qarşılıqlı əlaqədə ola bilən müxtəlif reaktiv qazlara məruz qalır. SiC-nin əla kimyəvi müqaviməti onun bu qazlarla reaksiya verməməsini təmin edir, çirklənmənin qarşısını alır və vaflilərin təmizliyini təmin edir. Bu, hətta az miqdarda çirklənmənin qüsurlara səbəb ola biləcəyi və cihazın etibarlılığını azalda biləcəyi qabaqcıl yarımkeçirici cihazların istehsalında xüsusilə vacibdir.