SiC vafli qayıq daşıyıcısı

Yarımkeçirici istehsalının sürətlə inkişaf edən mənzərəsində, xüsusən də EV-lər, 5G infrastrukturu və bərpa olunan enerji üçün SiC və GaN güc cihazlarının istehsalı - vafli ilə işləmə aparatınızın etibarlılığı müzakirə edilə bilməz. Semicorex SiC Wafer Boat Carrier yüksək temperaturlu, yüksək təmizlik mühitlərində ənənəvi kvars və qrafit komponentlərini əvəz etmək üçün nəzərdə tutulmuş material mühəndisliyinin zirvəsini təmsil edir.

Niyə Silisium Karbid Sənaye Seçimidir?

Yarımkeçirici qovşaqlar kiçildikcə və vafli ölçüləri 200 mm-ə (8 düym) keçdikcə kvarsın istilik və kimyəvi məhdudiyyətləri darboğaza çevrilir. Bizim SiC Wafer Boat Carrier istifadə edərək dizayn edilmişdirSinterlənmiş silisium karbidvə ya istilik keçiriciliyi, mexaniki möhkəmlik və kimyəvi təsirsizliyin unikal birləşməsini təklif edən CVD örtüklü SiC.

1. Müstəsna İstilik Sabitliyi

Ənənəvi materiallar tez-tez diffuziya və yumşalma üçün tələb olunan həddindən artıq temperaturlara məruz qaldıqda "çökmə" və ya deformasiyadan əziyyət çəkirlər. Bizim SiC Wafer Boat Daşıyıcımız 1600°C-dən yuxarı temperaturlarda struktur bütövlüyünü qoruyur. Bu yüksək istilik sabitliyi vafli yuvalarının mükəmməl uyğunlaşdırılmış vəziyyətdə qalmasını təmin edir, avtomatlaşdırılmış robot köçürmələri zamanı vafli "şaqqıltı" və ya tıxacın qarşısını alır.

2. Yüksək Saflıq və Aşağı Çirklənmə

Təmiz otaq mühitində hissəciklər məhsuldarlığın düşmənidir. Bizim qayıq daşıyıcılarımız xüsusi CVD (Kimyəvi Buxar Depoziti) örtük prosesindən keçir. Bu, çirkli qazların çıxarılmasına qarşı maneə rolunu oynayan sıx, məsaməli olmayan bir səth yaradır. Ultra aşağı metal çirklənmə səviyyələri ilə daşıyıcılarımız vaflilərinizin - istər Silikon, istərsə də Silikon Karbid - kritik yüksək istilik dövrlərində çarpaz çirklənmədən azad olmasını təmin edir.

3. Uyğun CTE (Termal Genişlənmə əmsalı)

Gofret gərginliyinin və sürüşmə xətlərinin əsas səbəblərindən biri daşıyıcı və vafli arasında istilik genişlənməsində uyğunsuzluqdur. SiC qayıqlarımız SiC vaflilərinə yaxından uyğun gələn CTE ilə dizayn edilmişdir. Bu sinxronizasiya sürətli isitmə və soyutma fazaları (RTP) zamanı mexaniki gərginliyi minimuma endirərək ümumi kalıp məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır.

Əsas Texniki Spesifikasiyalar

Qabaqcıl İstehsalda Tətbiqlər

Bizim SiC Wafer Boat Daşıyıcımız fabrikdə ən tələbkar "isti zona" prosesləri üçün optimallaşdırılıb:

• LPCVD & PECVD: Kimyəvi prekursorlara yüksək müqavimət qayığın deqradasiyaya uğramasının qarşısını alır, ardıcıl proses dəstinin ömrünü təmin edir.
• Yüksək temperaturda oksidləşmə: Kvarsdan fərqli olaraq, SiC minlərlə dövr ərzində gücünü saxlayaraq devitrifiya etmir.
• Diffuziya və yumşalma: Qayıq boyunca üstün istilik vahidliyi partiyadakı hər bir vaflinin eyni istilik profilinə sahib olmasını təmin edir.
• SiC Epitaxy: Xüsusilə SiC substratlarında epitaksial təbəqələrin böyüməsi üçün tələb olunan sərt mühitlərə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur.

Davamlılıq Xərc-Səmərəliliyə cavab verir

SiC avadanlığına ilkin investisiya kvarsdan yüksək olsa da, Ümumi Mülkiyyət Dəyəri (TCO) əhəmiyyətli dərəcədə aşağıdır. Daşıyıcılarımız uzunömürlülük üçün tikilir, çox vaxt ənənəvi materiallardan 5-10 dəfə uzun müddət xidmət göstərir. Bu, hissələrin dəyişdirilməsi üçün alətin dayanma tezliyini azaldır və bahalı vaflilərin bütün partiyasını məhv edə biləcək fəlakətli qayıq nasazlığı riskini minimuma endirir.

Prosesinizi sübut edilmiş mühəndisliyə etibar edin

Biz başa düşürük ki, yarımkeçirici sənayedə "kifayət qədər yaxşı" heç vaxt kifayət etmir. Bizim istehsal prosesimizə vakuum qablaşdırmadan əvvəl 100% CMM ölçülü yoxlama və yüksək təmizlikdə ultrasəs təmizləmə daxildir.

İstər 200 mm-lik SiC elektrik cihazı xəttini genişləndirirsiniz, istərsə də köhnə 150 ​​mm-lik prosesi optimallaşdırırsınız, bizim mühəndislik komandamız xüsusi soba tələblərinizə uyğun olaraq yuva meydançasını, qayıq uzunluğunu və idarə konfiqurasiyalarını fərdiləşdirməyə hazırdır.