Sic şaquli qayıqlar

Semikorex SIC şaquli qayıqları, şaquli soba yarımkeçirici emalı üçün ən yüksək istilik, mexaniki və kimyəvi sabitliyi təmin etmək üçün hazırlanmış və istehsal edilmiş vafli daşıyıcılardır. Yüksək saflıqdan tikilmişdirsilikon karbid, İnanırıq ki, oksidləşmə, yayılma, LPCVD və şaquli soba sistemlərində tıxanma kimi qeyd olunan çox inkişaf etmiş vafli istilik emalı üçün ən yaxşı güc, davamlılıq və təmizlikdir.

Şaquli soba emalı mühitləri, yüksək temperaturda, tez-tez 1,200 ° C-dən çox olan təkrar məruzələrə tab gətirə bilən və çirklənmə problemləri olmadan dimen-sionally sabit qalacaq vafli dəstək sistemi tələb edir. SIC şaquli qayıqları, yenidən qurulmuş və ya CVD silikon karbidinin daxili mexaniki və istilik xüsusiyyətləri səbəbindən bu vəziyyətlərdə möhkəmliyinə üstünlük verirlər. Onların həddindən artıq aşağı istilik genişləndirilməsi əmsalı sürətli istilik velosipedi səbəbindən minimal döyüş və ya təhrif təmin edir. Bundan əlavə, yüksək istilik keçiriciliyi, təbəqə qalınlığında, doping profillərində və elektrik performansında vaf-gaf-gofret ardıcıllığı üçün kritik olan bütün gofretlər arasında ən böyük yerli temperatur homojenliyini təklif edir; Yarımkeçirici sənayesində yüksək həcmli istehsalın vacib cəhətləri.

Ənənəvi kvars qayıqları ilə müqayisədə, SIC şaquli qayıqları üstün mexaniki güc və geniş xidmət ömrünü çatdırır. Kvars zamanla, xüsusən də aqressiv soba kimmissələrində, daha yüksək dəyişdirmə xərclərinə və potensial istehsal fasilələrinə səbəb olan təcavüzkar soba kimmissələrində kövrək və devitrify olmağa meyllidir. Bunun əksinə olaraq, silikon karbid, müxtəlif diffuziya və LPCVD proseslərində ümumi olan xlor, Hcl və ya ammonyak kimi aşındırıcı qazlara məruz qaldıqdan sonra da bütövlüyünü qoruyur. Onun müstəsna geyimi və oksidləşmə müqaviməti, vulfətləri çirklənmə və qüsur meydana gəlməsindən qorumağa kömək edən hissəcik nəslini çox azaldır.

SIC şaquli qayıqlar da ultra təmiz emal baxımından əhəmiyyətli bir fayda təklif edir. Yarımkeçirici cihazların istismar xüsusiyyətlərinə mane ola biləcək müəyyən edilə bilən izləri azaltmaq üçün yüksək saflıqlı SIC materialı ciddi işləmə zamanı ciddi işlənir. SIC şaquli qayıq səthləri mikro hissəciklər tökmə şansını minimuma endirən sağ bucaqlı xüsusiyyətləri ilə yaxşı başa çatır. SIC səthləri kimyəvi cəhətdən inertdir və proses qazlarına reaksiya vermir və buna görə də çirklənməyə daha az meyllidirlər. Bu baxımdan, SIC şaquli qayıqları xəttin (FEOL) ön tərəfi və xəttin (Beol) vafli emal əməliyyatlarının arxa ucu üçün yaxşı uyğundur.

SIC şaquli qayıqlar da dizayn rahatlığı təklif edir. Hər bir şaquli qayıq, birdən çox vafli diametri (150 mm, 200 mm və ya 300 mm-dən 300 mm-lik boşluq) və yuvanın nömrəsi və boşluq tələblərinə cavab vermək üçün istifadə edilə bilər. Həssas emal və ölçülü nəzarət, yükləmə, emal və boşaltma zamanı hər hansı bir mikro cızıq və ya stres çatlarının ehtimalını minimuma endirərək düzgün vafli hizalanmasına və vafli dəstəyinə imkan verir. Ayrıca, müəyyən bir proses üçün üstün temperaturun vahidliyi və / və ya daha az istilik kütləsi tələb olunarsa, optimallaşdırılmış həndəsə və yuva dizaynı, hər hansı bir mexaniki xüsusiyyətləri qurban vermədən, SIC şaquli qayıq konfiqurasiyasına daxil edilə bilər.

Digər bir üstünlük baxım və əməliyyat səmərəliliyidir. Sərt inşaatSisŞaquli qayıqlar dəyişdirmə vaxtını və tezliyini azaldır, bununla da əlimdən minimuma endirir və ya mülkiyyət dəyərini azaldır. SIC istilik şok müqaviməti istilik və soyutma dövrlərini istehsal xətlərində daha yüksək ötürmə qabiliyyətini təmin etməyə imkan verir. SIC şaquli qayıqlarının istismarı və ya təmizlənməsi də çox sadədir; Material turşular və yüksək temperaturlu çörək ilə kimyəvi təmizlənmə kimi yarımkeçirici fablarda ümumi yaş və ya quru təmizləyici proseslərə dözə bilər.

Bu müasir dövrdə incə yarımkeçirici istehsalının, məhsulda çirklənmə nəzarəti və sabitliyin bütün əhəmiyyəti var, SIC şaquli qayıqları əsl texnoloji üstünlük təklif edir. Şaquli soba tətbiqetmələrinin fiziki və kimyəvi problemləri ilə yaxşı məşğul olurlar və genişləndirmə nəticələrini, ardıcıl nəticələr və avadanlıqların daha uzun ömrünü çatdıraraq ümumi proses optimallaşdırılmasına töhfə verirlər.