SiC Şaquli Qayıqlar

Semicorex SiC Vertical Boats, şaquli soba yarımkeçiricilərinin emalı üçün ən yüksək istilik, mexaniki və kimyəvi dayanıqlığı təmin etmək üçün dizayn edilmiş və istehsal edilmiş mühəndis vafli daşıyıcılardır. Yüksək təmizlikdən hazırlanmışdırsilisium karbid, biz inanırıq ki, onlar şaquli soba sistemlərində oksidləşmə, diffuziya, LPCVD və tavlama kimi qeyd olunan çox inkişaf etmiş vafli termal emal üçün ən yaxşı güc, davamlılıq və təmizlik balansıdır.

Şaquli soba emal mühitləri yüksək temperaturda, tez-tez 1200°C-dən çox olan və çirklənmə problemi olmadan ölçü baxımından sabit qalaraq təkrar məruz qalmalara tab gətirə bilən vafli dəstək sistemi tələb edir. SiC Vertical Boats, yenidən kristallaşdırılmış və ya CVD silisium karbidinin daxili mexaniki və istilik xüsusiyyətlərinə görə bu vəziyyətlərdə öz möhkəmliyində üstündür. Onların son dərəcə aşağı istilik genişlənmə əmsalı sürətli istilik dövriyyəsi səbəbindən minimum əyilmə və ya təhrifi təmin edir. Bundan əlavə, yüksək istilik keçiriciliyi bütün vaflilər arasında ən böyük yerli temperatur homojenliyini təklif edir, bu da təbəqə qalınlığında, qatqı profillərində və elektrik performansında vaflidən vafli ardıcıllığı üçün vacibdir; yarımkeçirici sənayesində yüksək həcmli istehsalın mühüm aspektləri.

Ənənəvi kvars qayıqları ilə müqayisədə, SiC Vertical Boats üstün mexaniki güc və uzun xidmət müddəti təmin edir. Kvars, xüsusilə aqressiv soba kimyalarında, daha yüksək əvəzetmə xərclərinə və potensial istehsal fasilələrinə səbəb olan zaman keçdikcə kövrək olmağa və devitrifiyaya meyllidir. Bunun əksinə olaraq, silisium karbid müxtəlif diffuziya və LPCVD proseslərində ümumi olan xlor, HCl və ya ammonyak kimi aşındırıcı qazlara uzun müddət məruz qaldıqdan sonra belə öz bütövlüyünü saxlayır. Onun müstəsna aşınma və oksidləşmə müqaviməti hissəciklərin əmələ gəlməsini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır, vafli səthləri çirklənmədən və qüsurların əmələ gəlməsindən qorumağa kömək edir.

SiC Vertical Boats həm də ultra təmiz emal baxımından əhəmiyyətli fayda təklif edir. Yüksək təmizlikli SiC materialı, yarımkeçirici cihazların əməliyyat xüsusiyyətlərinə mane ola biləcək müəyyən edilmiş izləri çirkləndirən metalları azaltmaq üçün ciddi səylə işlənir. SiC Vertical Boat səthləri mikro hissəciklərin tökülməsi şansını minimuma endirən düzbucaqlı xüsusiyyətlərlə yaxşı işlənib. SiC səthləri kimyəvi cəhətdən inertdir və proses qazları ilə reaksiya vermir və buna görə də çirklənməyə daha az meyllidir. Bu baxımdan, SiC Vertical Boats xəttin ön ucu (FEOL) və xəttin arxa ucu (BEOL) vafli emal əməliyyatları üçün yaxşı uyğun gəlir.

SiC Vertical Boats həmçinin dizayn çevikliyi təklif edir. Hər bir Şaquli Qayıq çoxlu vafli diametrləri (150 mm, 200 mm və ya 300 mm vafli) yerləşdirmək üçün dizayna xas ola bilər və proses tələblərinə cavab vermək üçün yuva sayı və məsafədən istifadə edilə bilər. Dəqiq emal və ölçü nəzarəti, yükləmə, emal və boşaltma zamanı hər hansı mikro cızıqların və ya gərginlik çatlarının yaranma ehtimalını minimuma endirməklə, vaflinin düzgün hizalanmasına və vafli dəstəyinə imkan verir. Həmçinin, müəyyən bir proses üçün üstün temperatur vahidliyi və/və ya daha az istilik kütləsi tələb olunarsa, heç bir mexaniki xassələri itirmədən, optimallaşdırılmış həndəsələr və yuva dizaynları SiC Vertical Boat konfiqurasiyalarına daxil edilə bilər.

Digər bir üstünlük texniki xidmət və əməliyyat səmərəliliyidir. Sərt konstruksiyasıSiCŞaquli Qayıqlar dəyişdirmə vaxtını və tezliyini azaldır, beləliklə, dayanma müddətini və ya sahiblik xərclərini minimuma endirir. SiC-nin termal şok müqaviməti istehsal xətlərində daha yüksək məhsuldarlıq təmin etmək üçün daha qısa istilik və soyutma dövrlərinə imkan verir. SiC Vertical Boats-a qulluq və ya təmizləmə də çox sadədir; material turşularla kimyəvi təmizləmə və yüksək temperaturda bişirmə kimi yarımkeçirici fabriklərdə ümumi olan əksər ənənəvi yaş və ya quru təmizləmə proseslərinə tab gətirə bilər.

Məhsuldarlığın yaxşılaşdırılması, çirklənməyə nəzarət və prosesdə sabitliyin bütün əhəmiyyət kəsb etdiyi mürəkkəb yarımkeçirici istehsalının bu müasir çağında SiC Vertical Boats əsl texnoloji üstünlük təklif edir. Onlar şaquli soba tətbiqlərinin fiziki və kimyəvi problemləri ilə yaxşı məşğul olur və vafli bütövlük, ardıcıl nəticələr və avadanlıqların daha uzun ömrü təmin etməklə prosesin ümumi optimallaşdırılmasına töhfə verir.