Sic vakuum chucks

SemikorexSilikon karbidSIC vakuum chucks, dəqiq material çıxarma prosesləri zamanı yarımkeçirici gofreti etibarlı və etibarlı şəkildə saxlanılan yüksək texnologiyalı keramika vasitələridir. Onlar ultra təmiz, yüksək temperatur və kimyəvi cəhətdən sərt mühitlərdə istifadə üçün hazırlanmışdır. SIC vakuum chucks üstün gofret adsorbsiya və hizalanmaya kömək edir. Semikorex SIC SIC vakuum chucks, mükəmməl mexaniki güc, istilik keçiriciliyi və kimyəvi davamlılıq təmin etmək üçün yüksək saflıq silikon karbid keramikasından hazırlanır.

Bir vakuum Chuck-ın əsas işi vaffin səthində vahid bir emiş çəkməkdir ki, vaflonun yoxlama, çökmə, etch və litoqrafiya kimi proseslər zamanı sabit tutulmasıdır. Tipik vakuum chucks zamanla müqayisədə hissəcik nəsil, çarpma və ya kimyəvi pisləşmə ilə bağlı problemlər var. Ekstremal yarımkeçirici istehsal şəraiti üçün SIC vakuum chucks üstün uzunmüddətli davamlılıq və sabitlik təmin edəcəkdir.

Silikon karbid materialları sərtliyi, istilik sabitliyi və aşağı istilik genişləndirmə əmsalı üçün yüksək qiymətləndirilir. Bu materiallar geniş temperatur üzərində sabit qalacaq, istilik sabitliyi və istilik uyğunsuzluğunuzu vaflona qədər inkişaf etdirmək üçün imkanları genişləndirir. Onların yüksək istilik keçiriciliyi, həmçinin sürətli istilik ilkin rampa-up şəraitində və ya yüksək enerji plazmalarına qısa məruz qalmalarında faydalı olan sürətli istilik yayılmasına da imkan verir.

SIC keramikasının nəinki istilik və mexaniki faydaları yoxdur, həm də plazma korroziyası və aqressiv proses qazlarına da davamlıdır. Bu xüsusiyyət, Kvars və ya alüminium nitrid materiallarının istifadə ilə pisləşdiyi quru tithing, CVD və PVD prosesləri üçün xüsusilə əlverişli olan SIC vakuum chucks edir. SIC-nin kimyəvi inertliyi çirklənməyə və alət işini yaxşılaşdırmağa kömək edəcəkdir.

Üstün performans təmin etmək üçün. Semikorex, sic vakuum chucks edir və mikronun yeniləməsi olan kanal quruluşları olan ultra düz səthləri olan son dərəcə sıx tolerantları təyin edir. Bu xüsusiyyətlərlə, bu, vafli dəstəyi və davamlı emiş bölgəsi ilə vafli dəstəyi ilə vaffer dəstəyi təmin edir. Xüsusi dizayn xidmətləri müxtəlif tətbiqlərdə müxtəlif vafli ölçülərdə (2 "12") uyğun olmaq üçün də mövcuddur.

Daha yüksək məhsuldarlıq, prosesə nəzarət və etibarlılığı amillərdir, SIC vakuum chucks növbəti nəsil yarımkeçirici avadanlıqların yeni vacib komponentləridir. SIC vakuum chucks-in tətbiqləri birbaşa məhsul və emal nəzarəti, etibarlılığına birbaşa bağlanır.