Sic robot əlləri

Semicorex SIC Robot əlləri, yarımkeçirici istehsal sahəsində robototexnika ötürmə tətbiqləri üçün hazırlanmış son effektlərin ən sonudur. Yüksək performanslı materiallar ilə hazırlanmış, bu robot əllərini silikon karbid (SIC) keramika ilə mühərrikli keramika, maksimum istilik cədvəli, kimyəvi sabitlik və daha çox gofret istehsal və ya işləmə üçün daha sərt bir mühit üçün mexaniki gücü təmin etmək.

SIC Robot əllərimizə Mərkəzi mülkiyyətimiz inkişaf etdisilikon karbidYüksək sərtliyi (MOHS 9), yüksək istilik keçiriciliyi və korroziya müqaviməti ilə tanınır. Alüminium və ya paslanmayan polad kimi ənənəvi materiallardan fərqli olaraq, SIC, işlənmiş yüksək temperatur və reaktiv qazlar da daxil olmaqla yarımkeçirici təmiz otaqların sərt emalı mühitinə uyğundur. Uzunmüddətli davamlılıq təklif edirik və çirklənməni minimuma endiririk, vafli istehsalı üçün tələb olunan sərt saflığı artırır.

SIC Robot əlləri ilə yarımkeçirici avadanlıq, vafli i.E-ni əldə etmək üçün mənfi təzyiq əmziyi istifadə edir.

"Yüksək sürət" və "təmizlik" yarımkeçirici vaffer idarəetmə cihazlarının əsas xüsusiyyətləridir. Bu xüsusiyyətləri qarşılamaq üçün avadanlıq istifadə olunan komponentlərin performansına görə çox sərt tələblər var. Əksər proseslər, yüksək temperaturda və aşındırıcı qaz mühitində, yüksək temperatur və aşındırıcı qaz mühitində aparılır, yüksək mexaniki güc, korroziya müqaviməti, yüksək temperatur müqaviməti, yüksək sərtlik, izolyasiya və s. Və qabaqcıl keramika materialları yalnız bu şərtlərə cavab verə bilər.

Silikon karbid keramikaSıx toxumanın, yüksək sərtlik, yüksək aşınma müqavimətinin, eləcə də yaxşı istilik müqaviməti, yüksək temperatur mühitində yaxşı bir itiasiya, yaxşı korroziya müqaviməti və digər fiziki xüsusiyyətlərin fiziki xüsusiyyətlərinə malikdir. Yarımkeçirici avadanlıqla işləyən silah hazırlamaq üçün əla bir materialdır.

Bu robot platformalarının Fabs və alət istehsalçıları arasında dəyişdiyini, SIC Robot əllərimizin bir sıra standart ölçülərdə mövcuddur və unikal alət konfiqurasiyaları üçün düzəldilə bilər. Quraşdırma interfeysləri, barmaq həndəsi və vafli dəstək xüsusiyyətləri xüsusi avadanlıq və proses ehtiyaclarını ödəmək üçün uyğunlaşdırıla bilər. Klaster alətləri, vakuum kameraları və ya tüpürmə sistemləri içərisində boşaltma olmağınızdan asılı olmayaraq, robot əllərimizin aparıcı robototexnika markaları ilə problemsiz inteqrasiya olunur.

Hər bir sic robot əli, sinif 1 təmizlik standartlarına uyğunluğunu təmin etmək üçün ciddi təmizlik, yoxlama və qablaşdırma prosedurlarına məruz qalır. SIC-nin məsaməli, statik statik səthi, hissəciklərin yapışmasını azaldır, sağlam quruluş zamanla hissəcik nəsli səbəb ola biləcək mikrofrakturalara davam edir. Bu, onları ən kiçik bir çirklənmənin cihazın uğursuzluğuna səbəb ola biləcəyi ön sözlər üçün ideal hala gətirir.

Epitaxy və ion implantasiyasından PVD, CVD və CVD və CVD, SIC robot əlləri yarımkeçirici cihazın uydurmasının hər addımına etibar olunur. İstilik şoku və plazma mühitlərinə üstün müqavimət, inkişaf etmiş məntiq və enerji yarımkeçirici xətlərdə, xüsusən də SIC vafnik substratlarının istifadə olunduğu yerlərdə onları əvəzolunmaz hala gətirir.