Sic borular

Semikorex SIC boruları yarımkeçirici soba sistemləri üçün keramika hissələridir.  Onların yüksək istilik ötürülməsi və yüksək səviyyədə temperatur və kimyəvi ekoloji şəraitin olduğu və haqsızlığın arzuolunan, enerji səmərəliliyi və unikal sabit proses şəraiti olan həddindən artıq yüksək temperatur və kimyəvi ekoloji şəraitdə olan yüksək istilik ötürücü və kimyəvi müqavimət göstərən yüksək istilik ötürülməsi və yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət göstərən yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət mövcuddur.

Semikorex sic borular yüksək təmizlikli bir taxıl istifadə edirsilikon karbidQabaqcıl sinek və yenidən qurulma üsulları və texnikaları nəticəsində müstəsna yüksək temperaturlu mexaniki sabitliyə sahib olmaq üçün hazırlanmışdır. Yüksək performanslı SIC-nin aktivləşdirilməsi, müstəsna mexaniki güc və yüksək əməliyyat temperaturunda istilik sabitliyinin saxlanması ilə nəticələnir. SIC, aşınmaları və ya potensial deformasiyanı azaltma müstəsna sərtliyi var.  Bundan əlavə, SIC xüsusiyyətləri ilə əlaqəli xüsusiyyətlər, istilik genişlənməsinin aşağı yanacaq dərəcədə səmərəli olması faydalıdır, çünki bu materialı həddindən artıq yüksək və aşağı işləmə istisi arasında velosiped sürmək üçün tələblər olacaqdır. Bütün bu mülahizələrdə, diffuziya sobaları, oksidləşmə sobaları və LPCVD / PECVD sistemlərində ideal proqramlar, oksidləşmə sobaları və LPCVD / PECVD sistemləri, yüksək sabit, hətta proses şərtləri olan vober və ya materialla əlaqəli olan qüsurları aradan qaldırmaq və ya məhdudlaşdırmaq üçün fayda əldə etmək faydasıdır.

SIC Boruların digər bir vacib bir proqramı, xüsusi şərtlərdə və tətbiq olunan soba dizaynında yüksək istilik keçiriciliyi profilləri, yüksək səviyyədə keçirici və çox dərəcədə temperaturun yüksək dərəcədə və davamlı bir yayılmasını təmin etmək üçün tətbiq olunan soba dizaynlarıdır.  Bu etibarlı davranış təmin edir, vafzerlərə ağlabatan vaxt fasilələrində yarım bərabər temperatur paylanmasına məruz qalır və daha çox film çökmə şərtlərini yaxşılaşdırarkən düz dibli təhrif edilmiş və / və ya qüsurlu boşaltma üçün istilik gradientlərini məhdudlaşdırmağa imkan verir.

Kimyəvi sabitlik və müqavimət başqa bir vacib performans amilidir.  Yarımkeçirici proseslərdə soba borusu, oksigen, hidrogen, ammonyer və bütün halogenlər də daxil olmaqla, sürətli bir şəkildə adi bir moda rüsvaylaya bilən yüksək reaktiv qazların təsirinə məruz qalır. SIC-nin kimyəvi cəhətdən inert təbiəti ilə yanaşı, sıx və məsaməli mikroavruktur, ekstremal proses mühitində əməliyyat və mexaniki performans verərkən oksidləşmə və korroziyaya qarşı qoruyur.  SIC sobalarının davamlılığı, uzun müddət ərzində və sabitliyin idarəetmə və sabitlik üçün vacib olan müddətdə forma və ölçülü dəqiqliyin bütövlüyünü qorumağa kömək edir.

SIC boruları geniş ölçülərdə və divarın qalınlığında, həndəsi olaraq soba dizaynlarına və proses ehtiyaclarına uyğun olaraq istehsal edilə bilər.  Dəqiq dəqiq bir emal xüsusiyyətləri, həmçinin SIC borularının dizaynı və istehsalı zamanı da saxlanılır ki, işləməyən tolerantlar, hamar daxili səthlər və laminar qaz axınının və vahid istilik profillərinin tarazlığını qorumaq üçün əla daxili səthlər və əla konsentrasiyasi. Səthi cilalama və örtüklər, hissəcik nəslini azaltmaq və korroziya müqavimətinin yaxşılaşdırılması ilə performans artıracaq müalicə variantları olaraq təmin edilə bilər.

SIC boruları kvars və ya alumina boruları kimi alternativ materiallarla müqayisədə aydın əməliyyat və xərc üstünlükləri var.  SIC komponentləri üçün ilkin dəyəri bir qədər yüksək ola bilər, ancaq məhsulun həyatı, qırılmanın azalması və aşağı baxım tələbləri alternativ materiallardan və borulardan daha az xərc çəkən mülkiyyətin ümumi dəyəri ilə nəticələnir.

Nəticə çıxarmaq, semikorexSisBorular, ən yaxşı istilik performansını, mexaniki gücü, kimyəvi müqavimət və tələb olunan istehsal mühiti üçün etibarlılığı təmin etdikləri üçün yarımkeçirici soba tətbiqləri üçün ən yaxşı seçimdir. Bu material proses sabitliyini yaxşılaşdırır və yol xərclərinə qənaət və səmərəliliyə kömək edir (yəni aşağı enerji istehlakı). SIC boruları müasir yarımkeçirici istehsal üçün əsas materialdır.