SiC ICP aşındırma lövhəsi

Semicorex SiC ICP Aşınma Plitəsi müstəsna istilik keçiriciliyi, üstün sərtlik və əla kimyəvi sabitlik təklif etməklə sənaye tələblərinə cavab verir və onu qabaqcıl yarımkeçiricilər istehsalı üçün üstünlük təşkil edir.

Silikon Karbid qeyri-adi istilik keçiriciliyi ilə tanınır, yarımkeçiricilərin istehsalında mühüm atributdur. Bu xüsusiyyət SiC ICP Aşınma Plakasına optimal işləmə temperaturlarını saxlayaraq aşındırma prosesi zamanı yaranan istiliyi səmərəli şəkildə dağıtmağa imkan verir. İstiliyi effektiv şəkildə idarə etməklə, SiC ICP Aşınma Plitəsi həddindən artıq istiləşmə riskini minimuma endirərək, hətta yüksək güclü tətbiqlərdə belə ardıcıl performans və etibarlılığı təmin edir. Bu istilik idarəetməsi aşındırma prosesinin bütövlüyünü qorumaq və yüksək keyfiyyətli nəticələr əldə etmək üçün vacibdir.

SiC ICP Aşınma Plakasının başqa bir üstün xüsusiyyəti onun üstün sərtliyi və aşınma müqavimətidir. Mövcud olan ən sərt materiallardan biri olan Silicon Carbide aşınmaya və mexaniki aşınmaya qarşı müstəsna müqavimət göstərir. Bu xüsusiyyət, aşındırma lövhəsinin aqressiv kimyəvi və fiziki şəraitə məruz qaldığı plazma aşındırma mühitində xüsusilə qiymətlidir. SiC ICP Etching Plate-nin davamlılığı daha uzun xidmət müddətinə, azaldılmış dayanma müddətinə və aşağı texniki xidmət xərclərinə çevrilir ki, bu da onu yüksək həcmli istehsal üçün sərfəli həll yolu edir.

İstilik və mexaniki xassələrinə əlavə olaraq, SiC ICP Aşınma Plitəsi əla kimyəvi sabitlik təklif edir. Silikon Karbid korroziyaya və kimyəvi hücuma yüksək davamlıdır, hətta sərt kimyəvi mühitlərdə belə struktur bütövlüyünü və performansını qoruyur. Kimyəvi deqradasiyaya qarşı bu müqavimət aşındırma prosesinin dəqiqliyini və düzgünlüyünü qorumaq üçün çox vacibdir, çünki aşındırma plitəsinin bütövlüyündə hər hansı bir güzəşt istehsal olunan yarımkeçirici cihazlarda qüsurlara səbəb ola bilər.