SiC Fokus Üzükləri

Semicorex qabaqcıl, yüksək təmizlikli SiC Fokus Üzükləri plazma aşındırma (və ya quru etç) kameralarında ekstremal mühitlərə tab gətirmək üçün qurulmuşdur. Biz silisium karbid təbəqələri və epitaksiya yarımkeçiriciləri kimi yarımkeçirici sənayelərə diqqət yetiririk. Məhsullarımız yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Semicorex təmin edir SiC Focus Rings RTA, RTP və ya sərt kimyəvi təmizləmə üçün həqiqətən sabitdir. SiC Focus Rings və ya kənar halqalar vafli kənarı və ya perimetri ətrafında aşındırma vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Plazma aşındırma emalının sərtliyi üçün hazırlanmış yüksək təmizlikli komponentlərlə çirklənməni və planlaşdırılmamış təmiri minimuma endirin. SiC örtüklü SiC Fokus Üzüklərimiz sıx, aşınmaya davamlı silisium karbid (SiC) örtükdür. Yüksək korroziyaya və istilik müqavimətinə, eləcə də əla istilik keçiriciliyinə malikdir. Kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesindən istifadə edərək qrafit üzərinə nazik təbəqələrdə SiC tətbiq edirik.

SiC Fokus Üzüklərinin Parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC Î² mərhələsi
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	Î¼m	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Young's Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300â)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilikkeçirmə	(Vt/mK)	300

SiC Fokus Üzüklərinin Xüsusiyyətləri

- Xidmət müddətini yaxşılaşdırmaq üçün CVD Silikon Karbid örtükləri.

- Yüksək performanslı təmizlənmiş sərt karbondan hazırlanmış istilik izolyasiyası.

- Karbon/Karbon kompozit qızdırıcısı və boşqab.- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.

- Yüksək təmizlikli qrafit və SiC örtüyü pin dəliyinə qarşı müqavimət və daha uzun ömür üçün