SiC diffuziya soba borusu

Yüksək əyilmə gücü: Semicorex SiC Diffuziya Fırın Borusu 200MPa-dan çox əyilmə gücünə malikdir və yarımkeçiricilərin istehsalı proseslərinə xas olan yüksək gərginlik şəraitində müstəsna mexaniki performans və struktur bütövlüyünü təmin edir.

Görkəmli Oksidləşmə Müqaviməti: Bu SiC Diffuziya Soba Boruları bütün qeyri-oksid keramika arasında ən yaxşısı olan üstün oksidləşmə müqaviməti nümayiş etdirir. Bu xüsusiyyət yüksək temperaturlu mühitlərdə uzunmüddətli sabitlik və performans təmin edir, deqradasiya riskini azaldır və boruların istismar müddətini uzadır.

Əla Korroziyaya Müqavimət: SiC Diffuziya Fırın Borunun kimyəvi təsirsizliyi korroziyaya qarşı əla müqavimət təmin edir və bu boruları yarımkeçirici emal zamanı tez-tez rast gəlinən sərt kimyəvi mühitlərdə istifadə üçün ideal edir.

Yüksək Aşınma Müqaviməti: SiC Diffuziya Soba Borusu aşınmaya yüksək davamlıdır, bu, ölçü sabitliyini qorumaq və aşındırıcı şəraitdə uzun müddət istifadə müddətində texniki xidmət tələblərini azaltmaq üçün çox vacibdir.

Aşağı Sürtünmə əmsalı: SiC Diffuziya Ocağının Borularının aşağı sürtünmə əmsalı həm boruların, həm də vaflilərin aşınmasını azaldır, düzgün işləməyi təmin edir və yarımkeçiricilərin emalı zamanı çirklənmə risklərini minimuma endirir.

Üstün Yüksək Temperatur Mexaniki Xüsusiyyətləri: SiC Diffuziya Ocağının Borusu, görkəmli möhkəmlik və sürüşmə müqaviməti də daxil olmaqla, tanınmış keramika materialları arasında ən yaxşı yüksək temperatur mexaniki xüsusiyyətlərini nümayiş etdirir. Bu, onu yüksək temperaturda uzunmüddətli sabitlik tələb edən tətbiqlər üçün xüsusilə uyğun edir.

CVD Örtüyü ilə: Semicorex Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) SiC örtüyü 99,9995% -dən çox təmizlik səviyyəsinə nail olur, çirkin tərkibi 5 ppm-dən və zərərli metal çirkləri 1 ppm-dən aşağıdır. CVD örtük prosesi boruların yüksək dəqiqlikli yarımkeçirici istehsal mühitləri üçün vacib olan 2-3Torr-un ciddi vakuum keçirmə tələblərinə cavab verməsini təmin edir.

Diffuziya sobalarında tətbiq: Bu SiC Diffuziya Soba Boruları, dopinq və oksidləşmə kimi yüksək temperatur proseslərində mühüm rol oynadığı diffuziya sobalarında istifadə üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Onların qabaqcıl material xassələri onların bu proseslərin çətin şərtlərinə tab gətirə bilməsini təmin edir və bununla da yarımkeçirici istehsalının səmərəliliyini və etibarlılığını artırır.