SiC ilə örtülmüş qaz disversiya diskləri

Qabaqcıl yarımkeçirici dərəcəli materialların və qabaqcıl istehsal texnologiyalarının gözəl nümunəsi kimi dayanan SemicorexSiC örtüklüqaz təxribat diskləri kimyəvi buxarın çökməsi yolu ilə sıx SiC örtüklü matrisləri kimi yüksək təmizlikli qrafitdən dəqiq şəkildə hazırlanır. Qaz təxribat diskləri, emal zamanı tam reaksiyaları təmin etmək üçün, əsasən, reaksiya qazını vafli səthi boyunca bərabər paylamaq üçün nəzərdə tutulmuşdur, beləliklə, ardıcıl və vahid monokristal nazik təbəqələrin əmələ gəlməsini asanlaşdırır.

Semicorex SiC ilə örtülmüş qaz təxribat disklərinin üstünlükləri

1. Yüksək material təmizliyi

Semicorex ehtiyatlı material seçimindən başlayaraq ciddi məhsul keyfiyyət standartlarına riayət edir. Xammalın bu ciddi təmizliyinə nəzarət sayəsində, Semicorex SiC ilə örtülmüş qaz yönləndirmə diskləri aşağı çirklilik verir və üstün təmizliyə malikdir. Bu, metal ionlarının və digər çirkləndiricilərin yarımkeçirici epitaksial prosesləri pozmasının qarşısını əhəmiyyətli dərəcədə ala bilər.

2. Üstün termal sabitlik

Yarımkeçirici epitaksial avadanlıq adətən 1400°C-dən yuxarı temperaturda işlədiyi üçün bu sistemlərdə istifadə olunan komponentlərin müstəsna istilik sabitliyinə malik olması tələb olunur. Bu müstəsna istilik sabitliyi Semicorex SiC ilə örtülmüş qaz təxribat disklərinin çətin yüksək temperaturlu iş şəraitinə tab gətirməsini təmin edə bilər və əməliyyat zamanı yüksək temperaturun yaratdığı çirklərin yayılmasının qarşısını effektiv şəkildə ala bilər ki, bu da epitaksial vaflilərin keyfiyyətinə və məhsuldarlığına zəmanət verir.

3.Möhtəşəm yüksək temperaturda korroziyaya davamlılıq

Qorunmayan qrafit matrisləri korroziyaya və hissəciklərin əmələ gəlməsinə meyllidir, buna görə də qaz təxribat diskləri korroziyaya davamlılığını artırmaq üçün adətən silisium karbid örtüyü ilə işlənir. Sıx SiC örtüyü ilə örtülmüş,  Semicorex SiC ilə örtülmüş qaz yönləndirmə diskləri əla oksidləşmə və kimyəvi korroziyaya davamlılıq təklif edir ki, bu da onlara çətin yüksək temperatur və korroziyalı iş şəraitində belə uzun xidmət müddətində davamlı şəkildə işləməyə imkan verir.

4.Flexible fərdiləşdirmə imkanları

Semicorex təcrübəli emal imkanları təklif edən CNC emal avadanlığı, səthi daşlama maşınları və ultrasəs qazma avadanlığı kimi çoxsaylı qabaqcıl emal avadanlıqları ilə təchiz edilmişdir. Semicorex müştərilərin cizgilərinə uyğun olaraq çevik fərdiləşdirmə xidmətləri təklif edə və müştərilərin epitaksial avadanlığı ilə qüsursuz uyğunluğu təmin etmək üçün SiC ilə örtülmüş qaz yönləndirici disklərin ölçülərini, dözümlülüklərini, səthinin düzlüyünü, deşik diametrlərini və deşik aralıqlarını uyğunlaşdıra bilir.