SiC Seramik Vakuum Çəkisi

Onlar Mur Qanununa nail olmaq üçün səy göstərdikcə, yarımkeçirici istehsal müəssisələri ciddi mexaniki qüvvələrə tab gətirə bilən və heç bir zərbə və eniş olmadan düz qala bilən vafli saxlama platformalarına ehtiyac duyurlar. Semicorex SiC Ceramic Vakuum Chuck ənənəvi alüminium oksidi və paslanmayan poladdan hazırlanmış çubuqları əvəz etmək üçün mükəmməl həll təqdim edir; onlar çəki nisbətinə lazımi sərtliyi təmin edəcəklər və kimyəvi reaksiya verməyəcəklər, hər ikisi 300 mm-lik vafli və ondan kənarda emalı üçün vacibdir.

1. Sinterlənmiş sıx silisium karbidindən (SSiC) istifadə etməklə materialın üstünlükləri.

Əsas komponentimizSiC SeramikVakuum Çubuğu SinterlənmişdirSilikon karbid, çox güclü kovalent bağlanması ilə müəyyən edilən material. Bizim SSiC məsaməli və ya reaksiyaya bağlı deyil; daha doğrusu, demək olar ki, nəzəri sıxlığa (> 3,10 q/sm3) nail olmaq üçün > 2000 dərəcə Selsi temperaturunda sinterlənir - sadə desək, vakuum çubuqlarının istehsalı üçün istifadə olunan digər materiallardan daha möhkəmdir.

Müstəsna mexaniki sərtlik.

SSiC-nin Young Modulu təxminən 420 GPa-dır, beləliklə, onu alüminium oksidindən (təxminən 380 GPa) daha sərt edir. Bu yüksək elastiklik moduluna görə, çubuqlarımız həm vakuum, həm də yüksək sürətli fırlanma şəraitində sabit qalacaq və deformasiyaya uğramayacaq; beləliklə, vaflilər "kartof çipi" olmayacaq (yəni, əyilməyəcək) və həmişə bütün səth sahəsi ilə vahid təmasda olacaqlar.

İstilik Sabitliyi və Aşağı CTE

Yüksək intensivlikli ultrabənövşəyi şüalar və ya sürtünmə nəticəsində yaranan istiliklə bağlı proseslərdə istilik genişlənməsi üst-üstə düşmə xətalarına səbəb ola bilər. SiC çubuqlarımız yüksək istilik keçiriciliyi (>120W/m·K) ilə birlikdə 4.0 x 10^{-6}/K olan aşağı İstilik Genişlənmə Əmsalına (CTE) malikdir. Bu kombinasiya uzun müddətli litoqrafiya və ya metrologiya dövrləri zamanı ölçü sabitliyini qoruyub saxlayaraq istiliyi sürətlə yaymağa imkan verir.

2. Dəqiq mühəndislik və dizayn

Məhsulun təsvirində göründüyü kimi, vakuum çubuqlarımız konsentrik və radial vakuum kanallarının mürəkkəb şəbəkəsinə malikdir. Bunlar vaflidə vahid emişi təmin etmək üçün son dərəcə dəqiqliklə CNC-də işlənmişdir və vaflinin qırılmasına səbəb ola biləcək lokal gərginlik nöqtələrini minimuma endirmişdir.

Sub-Mikron Yastılıq: Biz <1μm qlobal düzlüyə nail olmaq üçün qabaqcıl almaz üyütmə və sürtmə üsullarından istifadə edirik. Bu, qabaqcıl litoqrafiya qovşaqlarında tələb olunan fokus dərinliyini qorumaq üçün vacibdir.

Yüngülləşdirmə (İstəyə görə): Stepperlərdə və skanerlərdə yüksək sürətlənmə mərhələlərini yerləşdirmək üçün biz struktur sərtliyini itirmədən kütləni azaldan daxili pətək "yüngülləşdirici" strukturları təklif edirik.

Perimetrin Hizalanması Çentikləri: İnteqrasiya edilmiş çentiklər proses aləti daxilində robotik son effektlər və hizalanma sensorları ilə qüsursuz inteqrasiyaya imkan verir.

3. Yarımkeçiricilərin Təchizat Zəncirində Kritik Tətbiqlər

SiC Seramik Vakuum Çubuğumuz aşağıdakılar üçün sənaye standartıdır:

Gofretin İncəlməsi və Öğütülməsi (CMP): Vaflilərin kənarları qırılmadan mikron səviyyəsinə qədər incəlməsi üçün lazım olan sərt dəstəyin təmin edilməsi.

Litoqrafiya (Steppers/Scanners): 7nm-dən aşağı qovşaqlar üçün dəqiq lazer fokusunu təmin edən ultra düz "mərhələ" kimi fəaliyyət göstərir.

Metrologiya və AOI: Vaflilərin yüksək keyfiyyətli yoxlama və qüsur xəritələri üçün mükəmməl düz olmasını təmin etmək.

Gofret Kəsmə: Yüksək sürətli mexaniki və ya lazerlə kəsmə əməliyyatları zamanı sabit emiş təmin edir.

Semicorex-də biz anlayırıq ki, vakuum çubuq yalnız onun səthinin bütövlüyü qədər yaxşıdır. Hər bir çəngəl çox mərhələli keyfiyyətə nəzarət prosesindən keçir:

Lazer İnterferometriyası: Bütün diametrdə düzlüyünü yoxlamaq üçün.

Helium Sızma Testi: Vakuum kanallarının mükəmməl möhürlənmiş və səmərəli olmasını təmin etmək.

Təmiz otaqların təmizlənməsi: Sıfır metal və ya üzvi çirklənməni təmin etmək üçün Sinif 100 mühitlərində işlənmişdir.

Mühəndislik komandamız yuva nümunələrini, ölçüləri və montaj interfeyslərini fərdiləşdirmək üçün OEM alət istehsalçıları ilə sıx əməkdaşlıq edir. Semicorex-i seçməklə, siz dayanma müddətini azaldan, üst-üstə düşmə dəqiqliyini yaxşılaşdıran və həddindən artıq davamlılıq sayəsində ümumi sahiblik dəyərinizi azaldan komponentə sərmayə qoyursunuz.