SiC Seramik Robotik Qol

SiC keramikarobot qoluvafli istehsalının keyfiyyətinin və səmərəliliyinin təmin edilməsində mühüm rol oynayan çoxsaylı yarımkeçirici vafli istehsal proseslərində istifadə olunur. O, adətən yarımkeçirici vaflilərin idarə edilməsində və yerləşdirilməsində birbaşa iştirak edən aşındırma maşınları, çökmə avadanlığı, litoqrafiya maşınları, təmizləyici avadanlıqlar kimi müxtəlif yarımkeçirici ön avadanlıqların kameralarının içərisində və xaricində quraşdırılır. 

Yarımkeçirici vaflilər hissəciklərlə asanlıqla çirklənir, buna görə də onların müvafiq istehsal prosesləri əsasən təmiz və vakuumlu yarımkeçirici avadanlıqlarda aparılır. Faktiki istismarda belə avadanlığın əsas komponenti kimi SiC keramika robot qolu yarımkeçirici vaflilərlə birbaşa təmasda olur və həmçinin ultra yüksək təmizlik tələblərinə cavab verməlidir. Semicorex-in SiC keramika robot qolu yüksək performanslı silisium karbid keramikadan hazırlanmışdır, ardınca dəqiq səthi bitirmə və təmizləmə müalicəsi aparılır ki, bu da təmizlik və səthin hamarlığı üçün yarımkeçirici istehsalının ciddi tələblərinə dəqiq cavab verə bilər. Bu, vafli qüsurlarını azaltmağa və vafli istehsal məhsuldarlığını yaxşılaşdırmağa əhəmiyyətli dərəcədə kömək edir.

SiC keramikarobot qolu tavlama, oksidləşmə və diffuziya kimi istilik müalicəsi prosedurları üçün optimal seçimdir. Silisium karbid materiallarının müstəsna termal dayanıqlığı və üstün termal zərbəyə davamlılığı sayəsində SiC keramika robot qolu yüksək temperatur şəraitində uzun müddət etibarlı şəkildə işləyə bilir. O, termal genişlənmənin təsirinə qarşı dura bilir və termal gərginlik altında struktur bütövlüyünü qoruyur və bununla da vafli yerləşdirmənin ardıcıl dəqiqliyini təmin edir.

Aşındırıcı qazlara və mayelərə qarşı möhkəm müqaviməti sayəsində SiC keramika robot qolu aşındırma, nazik təbəqənin çökməsi və ion implantasiyası kimi aqressiv korroziyalı proses atmosferlərinə məruz qaldıqda belə öz performansını sabit saxlaya bilir. Bu korroziyaya davamlılıq performansı korroziya ilə əlaqəli komponentlərin zədələnməsi riskini effektiv şəkildə azaltmaqla və tez-tez dəyişdirmə və texniki xidmət ehtiyacını azaltmaqla yarımkeçirici vafli istehsalının səmərəliliyini artırır.