SiC Seramik Çubuğu

Semicorex SiC Ceramic Chuck silisium karbid (SiC) keramikadan hazırlanmışdır və yarımkeçirici istehsalının çətin mühitində yüksək performansına görə yüksək qiymətləndirilir. Silikon karbid keramika müstəsna sərtliyi, istilik keçiriciliyi və kimyəvi müqaviməti ilə tanınır, bunların hamısı yarımkeçirici epitaksiya üçün çox vacibdir. Epitaksiya zamanı yarımkeçirici materialın nazik təbəqəsi yüksək performanslı elektron cihazların istehsalında kritik bir addım olan substratın üzərinə dəqiq şəkildə çökdürülür. SiC Ceramic Chuck bu proses zamanı vakuum çubuq funksiyasını yerinə yetirir və vaflinin düz və sabit qalmasını təmin etmək üçün güclü, sabit tutuşla vafli yerində saxlayır. SiC keramikaları deformasiya olmadan yüksək temperaturlara davam edə bilər, bu da onları tez-tez 1000 ° C-dən çox temperaturu əhatə edən epitaksial proseslər üçün ideal edir. Bu yüksək istilik sabitliyi SiC Ceramic Chuck-ın struktur bütövlüyünü qoruyub saxlaya bilməsini və hətta ekstremal şəraitdə belə vafli üzərində etibarlı tutuş təmin etməsini təmin edir. Bundan əlavə, SiC-nin əla istilik keçiriciliyi SiC Ceramic Chuck boyunca sürətli və vahid istilik paylanmasına imkan verir, epitaksial təbəqədə qüsurlara səbəb ola biləcək istilik qradiyentlərini minimuma endirir.

Silisium karbidin kimyəvi müqaviməti də onun yarımkeçirici istehsalında SiC Seramik Çubuğu kimi işləməsində mühüm rol oynayır. Epitaksial proseslər tez-tez reaktiv qazların və aqressiv kimyəvi mühitlərin istifadəsini əhatə edir ki, bu da zamanla materialları korroziyaya uğrada və ya pisləşdirə bilər. Bununla belə, SiC-nin kimyəvi hücuma qarşı güclü müqaviməti, çuxurun bu sərt şərtlərə tab gətirə bilməsini təmin edir, uzunmüddətli dayanıqlığı təmin edir və bir çox istehsal dövrlərində performans xüsusiyyətlərini qoruyur.

Üstəlik, SiC keramikasının mexaniki xüsusiyyətləri, məsələn, yüksək sərtlik və aşağı istilik genişlənmə əmsalı onları vakuum çubuqları kimi dəqiq tətbiqlər üçün ideal edir. Yüksək sərtlik çuxurun hətta təkrar istifadə zamanı aşınmaya və zədələnməyə davamlı olmasını təmin edir, aşağı istilik genişlənməsi isə geniş temperatur diapazonunda ölçü sabitliyini qorumağa kömək edir. Bu, yarımkeçiricilər istehsalında xüsusilə vacibdir, burada çuxurun ölçülərində hətta kiçik dəyişikliklər epitaksial təbəqədə yanlış hizalanmaya və ya qüsurlara səbəb ola bilər.

SiC Ceramic Chuck-ın dizaynı həmçinin vakuum mühitlərində onun performansını artıran xüsusiyyətləri özündə birləşdirir. Materialın xas məsaməliliyi istehsal prosesi zamanı dəqiq şəkildə idarə oluna bilər ki, bu da vaflidə vakuum saxlamağı optimallaşdıran xüsusi məsamə ölçüləri və paylamaları olan çubuqlar yaratmağa imkan verir. Bu, epitaksial təbəqənin keyfiyyətinə xələl gətirə biləcək əyilmə və ya digər deformasiyaların qarşısını alan qüvvənin vahid paylanması ilə vaflinin etibarlı şəkildə tutulmasını təmin edir.

Semicorex SiC Ceramic Chuck, beləliklə, silisium karbidinin unikal xüsusiyyətlərini dəqiqlik və davamlılıq üçün optimallaşdırılmış dizaynla birləşdirərək, yarımkeçirici epitaksial prosesin vacib komponentidir. Həddindən artıq temperaturlara tab gətirmək, kimyəvi hücumlara müqavimət göstərmək və vafli üzərində sabit tutma qabiliyyəti onu yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici cihazların istehsalında əvəzsiz alətə çevirir. Daha təkmil və etibarlı elektron komponentlərə tələb artmaqda davam etdikcə, SiC Ceramic Chuck kimi ixtisaslaşdırılmış komponentlərin rolu yarımkeçiricilərin istehsal proseslərinin səmərəliliyinin və keyfiyyətinin təmin edilməsində getdikcə daha vacib olacaqdır.