Sic keramik qayıqlar

Semikorex SIC SIC keramika gəmiləri, ən çox tələb olunan kimyəvi və termal ekstremal mühitlərdə yarımkeçirici gofreti təhlükəsiz nəqliyyat, saxlayır və emal etmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmış ən müasir daşıyıcılardır. Yarımkeçirici sənayesi SIC keramika gəmilərini etibarlı, etibarlı və çirklənmədən müasir vafli uydurma proseslərinə qarşı dözümsüz və kritik tələblərə nail olan yeni performans standartlarını sürətlə qəbul etdi.

Güclü istilik sabitliyi və gücü

SIC keramika qayıqlarının müəyyənləşdirən atributu onun çox yüksək istilik sabitliyidir. SIC keramika qayıqları, təcavüzkar istilik velosiped prosesləri zamanı forma və ya quruluşunu itirmədən 1600 ° C-dən çox temperatura dözə bilər. Ultra-aşağı istilik genişləndirmə əmsalı səbəbindən SIC keramika qayıqları təhrif və çatlamağa, sərt şəraitdə möhkəm tolerantlıq və ümumi vafkar təhlükəsizliyə imkan verən təhrif və çatlamağa daha az meyllidir.

Yüksək saflıq və kimyəvi müqavimət

SIC keramika qayıqları ultra yüksək saflıq silikon karbidindən hazırlanır. SIC keramika qayıqları, kimyəvi deqradasiyaya, aşındırıcı və aşındırıcı plazmaya da çox davamlıdır. SIC keramika qayıqlarının inert təbiəti, korroziv qazların, reaktiv mühitlərin, turşu şəraitinin, ya da iş prosesinə zərər vermək üçün heç bir həll edilə bilməyən bir şeyin heç bir çirklənməsinin və ya heç bir şeyin həll edilməməsi deməkdir. SIC keramika qayıqlarının çirklənməyən səthi heç bir hissəcik nəsil və ya ionun yuyulmasına imkan vermir, beləliklə bir vaffer səthi cihazın performansına və ya məhsuldarlığına mane olan çirklər tərəfindən təhlükə altına alınmır.

Təhlükəsiz və etibarlı vaffer işlənməsi üçün dəqiq mühəndislik

SIC keramika qayıqları, 100 mm, 150 mm, 300 mm, 300 mm, 300 mm və daha çox da daxil olmaqla, müxtəlif diametrlərin gofretlərini idarə etməyə imkan verən möhkəm tolerantlıqlar içərisində istehsal olunur. SIC Qayıqlarının struktur dizaynı, düzgün vafli lapping istiqamətini qorumaq və başqa bir prosesə və ya alətə ötürərkən vaffin kənarlarını qorumaq üçün əla düzlük, paralellik və vahid yuvanın ölçüsünü təmin edir. Bütün SIC Qayıqları alət dəstinə uyğun və ya hər hansı bir avtomatlaşdırma xüsusiyyətlərinə cavab vermək üçün xüsusi ölçülər ilə hazırlanmışdır.

Uzun ömür boyu və daha çox xərc səmərəlidir

SIC, ənənəvi materialları (kvars, alüminiina) əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırılmış mexaniki güc, sınıq sərtliyi və istilik şok müqaviməti ilə əvəz edir. Bu davamlılıq səviyyəsi "uğursuzluq" əvvəl daha uzun bir ömür sürən, əməliyyat zamanı əhəmiyyətli dərəcədə dəyişdirmə və mülkiyyətin ümumi dəyəri azdır. SIC-nin davamlılığından performansın ardıcıllığı azalacaq və yarımkeçirici istehsal xətlərində ötürmə sürətini sürətləndirəcəkdir.

Yarımkeçirici proseslərdə açıq tətbiqlər

SIC keramika qayıqları, son nöqtəli yarımkeçirici proseslərdə geniş istifadə olunur:

LPCVD və PECVD çəngəl

İstilik oksidləşməsi

İon implantasiyası

Təmizləmə və yayılma

Vafli təmizlik və kimyəvi emal

SIC keramika tutacaqları həm atmosferdə, həm də vakuum prosesi kameralarında və vakuum prosesi kameralarında uyğun emal tətbiqlərinə malikdir, bu, məhsuldarlığı artırarkən çirklənmə riskini minimuma endirmək və azaltmaq üçün ideal bir seçim halına gətirir.