SiC Cantilever Paddle

Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle, yarımkeçirici istehsal proseslərində, xüsusən diffuziya və ya RTP (Sürətli Termal Emal) kimi proseslər zamanı diffuziya və ya LPCVD (Aşağı Təzyiqli Kimyəvi Buxar Depoziti) sobalarında istifadə olunan mühüm komponentdir. Bu sobaların texnoloji borusu içərisində vaflilərin dəstəklənməsi və daşınması məqsədinə xidmət edir.

Semicorex SiC Cantilever Paddle, ilk növbədə, yüksək temperatura davamlılığı və əla mexaniki xüsusiyyətləri ilə tanınan möhkəm və termal cəhətdən sabit material olan Silikon Karbiddən ibarətdir. SiC, yarımkeçirici sobaların yüksək temperaturlu proses mühitlərində rast gəlinən sərt şərtlərə tab gətirmək qabiliyyətinə görə seçilir. SiC Cantilever Paddle konstruksiyası ona borudan kənarda bir ucunda möhkəm bərkidilmiş halda sobanın texnoloji borusuna uzanmağa imkan verir. Bu dizayn, soba daxilində istilik mühitinə müdaxiləni minimuma endirməklə yanaşı, emal edilən vaflilərə sabitlik və dəstəyi təmin edir.

SiC Cantilever Paddle, diffuziya və RTP kimi müxtəlif yüksək temperatur prosesləri zamanı yarımkeçirici vafliləri proses borusu daxilində etibarlı şəkildə daşımaq üçündür. Onun möhkəm konstruksiyası onun bu proseslər zamanı rast gəlinən ekstremal temperaturlara və kimyəvi mühitlərə tənəzzül və nasazlıq olmadan tab gətirməsini təmin edir. SiC Cantilever Paddles sənayedə geniş istifadə olunan yarımkeçirici vafli ölçüləri və formalarının geniş diapazonu ilə uyğun olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Onlar tez-tez xüsusi soba konfiqurasiyalarına və proses tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər.