Semicorex, Silikon Karbid Örtülü Qrafit, Silikon Karbidlə Örtülmüş Qrafit, Silikon Karbid Keramika, MOCVP yarımkeçirici istehsalı sahələrinə diqqət yetirərək, Dəqiq İşlənmiş Yüksək Təmizlikdə Qrafitin aparıcı müstəqil mülkiyyətində olan istehsalçısıdır. Robot Son Effektorumuz yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Robot End Effector yarımkeçirici vafliləri vafli emal avadanlığında və daşıyıcılarda mövqelər arasında hərəkət etdirən robotun əlidir. Robot End Effector, cihazlara zərər vermədən və ya hissəciklərlə çirklənmə yaratmadan vafliləri təhlükəsiz idarə etmək üçün hamar, aşınmaya davamlı səthə malik olmaqla, ölçü baxımından dəqiq və termal cəhətdən sabit olmalıdır. Yüksək təmizlikli silisium karbid (SiC) örtüyümüz Robot End Effector üstün istilik müqaviməti, ardıcıl epi təbəqə qalınlığı və müqaviməti üçün hətta istilik vahidliyi və davamlı kimyəvi müqavimət təmin edir.
Robot End Effektorunun Parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
Robot End Effektorunun Xüsusiyyətləri
Yüksək təmizlik SiC örtüklü qrafit
Üstün istilik müqaviməti və istilik vahidliyi
Hamar bir səth üçün incə SiC kristalla örtülmüşdür
Kimyəvi təmizləməyə qarşı yüksək davamlılıq
Material çatlar və delaminasiyaların baş verməməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur.