Diffuziya sobaları üçün proses borusu

Diffuziya sobaları üçün Semicorex texnoloji borusu adətən CVD SiC örtüklü yüksək təmizlikli SiC-dən hazırlanır. Bu materiallar əla istilik sabitliyi və aşındırıcı qazlara və yüksək temperaturlara qarşı müqavimətinə görə seçilir.

Diffuziya sobaları üçün Semicorex texnoloji borusu silindrik formadadır, qapalı ucu və açıq ucu var. O, diffuziya sobasına daxil edilir, diffuziya prosesinin baş verdiyi yerdə möhürlənmiş bir kamera meydana gətirir. Boru qazların hər hansı sızmasının qarşısını almaq və soba daxilində idarə olunan atmosferi qorumaq üçün diqqətlə hazırlanmışdır.

diffuziya sobaları üçün texnoloji boru yarımkeçirici cihazların istehsalında mühüm rol oynayır. O, diffuziya prosesləri üçün idarə olunan mühit təmin edir, vahid dopinq profillərini və proses parametrlərinə dəqiq nəzarəti təmin edir. Yüksək təmizlikli materialların istifadəsi və diqqətli dizayn mülahizələri proses borusunun bütövlüyünü qorumağa və yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici vaflilərin istehsalını təmin etməyə kömək edir.