Məsaməli SiC vakuum çubuqları

Semicorex məsaməli SiCvakuum çubuqlarıvafli incəlmə, dilimləmə, üyüdülmə, cilalama, fotolitoqrafiya, aşındırma kimi qabaqcıl yarımkeçirici istehsal proseslərində geniş şəkildə istifadə oluna bilən əvəzsiz komponentlərdir. Onların adsorbsiya platforması çoxlu bərabər paylanmış mikron miqyaslı məsamələri olan məsaməli SiC keramika lövhəsi ilə qurulmuşdur. Ardıcıl məsamə diametri və müstəsna deşik sürəti ilə Semicorex məsaməli SiC vakuum çubuqları vakuum evakuasiyası üçün hamar qaz yolunu təmin edir. Əməliyyat zamanı çubuq və vafli arasında sabit və vahid mənfi təzyiq yaranır ki, bu da yüksək səmərəli vakuum sıxma və yarımkeçirici vaflilərin sərbəst buraxılmasına imkan verir.

Semicorex məsaməli SiC vakuum çubuqlarının üstünlükləri 

1. Müstəsna emal dəqiqliyi

Qabaqcıl yarımkeçirici istehsalında emal edilmiş yarımkeçirici lövhələr olduqca nazikdir, buna görə də hətta cüzi əyilmə, vibrasiya və ya qeyri-bərabər yerli gərginlik vaflinin qırılmasına, əyilməsinə və litoqrafiya kimi kritik proseslərdə dəqiqliyin azalmasına səbəb ola bilər. Semicorexməsaməli SiCvakuum çubuqları yüksək dəqiqliklə üyüdülmə və cilalama yolu ilə işlənir və Ra ＜ 0,1 μm mükəmməl səth pürüzlülüyünə nail olur. Bu, Semicorex məsaməli SiC vakuum çubuqlarına yüksək dəqiqlikli yarımkeçiricilərin istehsalı üçün optimallaşdırılmış əməliyyat səthi təmin etməyə imkan verir.

2. Yüksək təmizlik və yüksək korroziyaya davamlılıq

Ciddi yarımkeçirici təmizlik standartlarına tam cavab vermək üçün Semicorex yüksək temperaturda sinterləmə yolu ilə yüksək təmizlikli silisium karbid xammalı ilə məsaməli SiC vakuum çubuqları istehsal edir. Bu, çubuqların hissəciklərin tökülməsindən və miqrasiya edilə bilən metal çirklənməsindən azad olmasını təmin edir. SiC-nin əla kimyəvi dayanıqlığından faydalanan Semicorex məsaməli SiC vakuum çubuqları sərt korroziya mühitlərinə tab gətirə bilir və əlavə əlavə məhsullar yaratmır, bu da onları yüksək dərəcəli təmiz yarımkeçiricilərin istehsalı prosesləri üçün çox uyğun edir.

3. Əla davamlılıq və uzunmüddətli sabitlik

İstehsal xətlərində istifadə olunan vakuum çubuqları minlərlə adsorbsiya və buraxılma dövrlərinə, eləcə də uzunmüddətli temperatur dalğalanmalarına tab gətirməlidir. Bu, vakuum çənlərinin material performansına son dərəcə yüksək tələblər qoyur. Semicorex məsaməli SiC vakuum çubuqları sabit termal genişlənmə ilə əla material sərtliyi və aşınma müqavimətinə malikdir. Onlar yüksək temperatur şəraitində heç bir sürüşmə və ya performansın azalması göstərmir, bu da onların xidmət müddətini əhəmiyyətli dərəcədə uzadır və komponentlərə texniki qulluq və dəyişdirmə tezliyini azaldır.