Məsaməli sic chuck

Semikorex məsaməli SIC, Chuck, yoxlama, sınaq və litoqrafiya kimi proses addımları ilə yarımkeçirici tətbiqetmələr vasitəsilə seyf substratlarının təhlükəsiz, səmərəli işlənməsi üçün dəqiq, səmərəli işləmə üçün dəqiqliklə toplanmış bir keramika hissəsidir. Chuck mikro məsaməli silikon karbid keramikasından (SIC) istehsal olunur. SIC, qabaqcıl yarımkeçirici istehsal mühitləri üçün mexaniki güc, kimyəvi müqavimət və istilik sabitliyi xüsusiyyətlərinə malikdir.

Məsaməli SIC Chuck-ın vacib bir xüsusiyyəti, 35% -40%, eyvanlığı nümayiş etdirən özünəməxsus microtrukturudur. Chuck'ın möhkəm idarəsi ilə, üst-üstə dizayn, takuum əmzikinə, takuum əmziyinə, adətən incə vafli substratları üçün ardıcıl sabit və təmasda olmayan dəstəyi yaradan Chuck-da bərabər şəkildə yayılmasına imkan verir: silikon və ya gan və digər mürəkkəb yarımkeçiricilər.  Vakuum emiş rejimi həm hissəciklərin çirklənməsindən, həm də mexaniki ziyandan qaçır, bununla da proses zamanı vafli bütövlüyünü qoruyur.

Chuck-ın keramika orqanı, ilk növbədə alumina (al2o3) kimi digər keramika ilə, tətbiqidən asılı olaraq məhdud sayda funksional təbəqə üçün istifadə olunur. Materialın tədqiqi və inkişafı, məsamə ölçüsünə və paylamasına gofret ölçüləri və proses şəraitindən asılı olaraq hava axınının və holdinq gücünə sahib olmağa imkan verir. Tozsoranları incə seyrəklərdə idarə etmək vacibdirsə, kiçik məsaməli ölçüsü birləşdiriləcəkdir. Lazım olduqda daha sürətli axın dərəcələri üçün daha böyük məsamə ölçüsü istifadə ediləcəkdir.

Məsaməli SIC Chucks dəyişkən məsamələr ölçüləri, keramika kompozisiyaları və atəş şərtləri nəticəsində rəng dəyişikliyini sərgiləyir. Silikon karbidinin rəngi olduğu üçün sic chucks qara və ya tünd boz rəngə meyllidir, çünki silikon karbidin rəngi, ya da qara, lakin böyük alüminium məzmunu olan chucks rəngdən kənarda qalmağa meyllidir. Rəngdəki dəyişikliklər məhsulun performansına heç bir təsir göstərmir və yalnız xüsusi müştəri ehtiyaclarına uyğun tətbiq üçün yaradılan mühəndis xüsusiyyətləri təmsil edir.

Yüksək səviyyəli vaffer emalı alətlərində termal sabitlik və kimyəvi inertlik ən vacib iki xüsusiyyətdir. Silikon karbidi korroziya qazlarına və istilik velosipedinə əla müqavimət göstərir. Məsaməli SIC Chuck vakuum otaqlarında və plazma etch alətlərində uğurla fəaliyyət göstərir və sürətlə dəyişən temperaturla yaxşı işləməyə davam edir. Chuck'ın zəif sabitliyini qorumaq qabiliyyəti, vaffin eyni yerdə qaldığını təmin edir, dəqiqlik tələbləri alt-mikronun altından asılı olaraq ölçülü sabitləşməyə töhfə verilən sabitliyi təmin edir.

Semikorex məsaməli Sic Chucks, vahid məsaməsizlik, yüksək elastik güc və aşağı istilik genişləndirilməsi təmin edən səlahiyyətli formalaşdırma və sintering prosedurlarından istifadə edərək hazırlanmışdır. Hər bir Chuck, etibarlı və təkrarlanan bir məhsulu təmin etmək üçün məsamə quruluşu, düzlük və vakuum performansı üçün yoxlanılır. Xüsusi dizaynlar, arxa yan qaz axını kanalları və ya montaj xüsusiyyətləri kimi xüsusi vafli ölçüləri və sistem inteqrasiya tələblərini yerləşdirmək üçün də mövcuddur.

Sonda, məsaməli SIC Chuck, dəqiq vaffer emalının tələbləri ilə birlikdə işləmək üçün diqqətlə işləməyi diqqətlə işlənmiş yüksək etibarlılıq substrat dəstəyi sistemidir. Yüksək vakuum tutma qabiliyyəti, özelleştirilebilir məsaməli quruluşu və görkəmli maddi sabitlik, bugünkü yarımkeçirici istehsal xətlərində əvəzolunmaz bir məhsuldur.