Məsaməli Çak

Paslanmayan polad bazası və mikroməsaməli silisium karbid (SiC) keramika lövhəsi olan Semicorex məsaməli çubuq yarımkeçirici, optoelektronik və qabaqcıl istehsal tətbiqlərində substratın dəqiq işləməsi üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı vakuum çubuqlama həllidir. Paslanmayan poladın struktur gücünü mikroməsaməli SiC keramikasının üstün funksional xassələri ilə birləşdirərək, bu kompozit çəngəl sabit vakuum adsorbsiyasını, əla istilik performansını və tələbkar proses şəraitində uzunmüddətli etibarlılığı təmin edir.

Məsaməli çuxurun komponentləri

Məsaməli çuxurun nüvəsində mikroməsaməli SiC keramika boşqab yerləşir, o, vahid paylanmış məsamə strukturu ilə işlənmişdir ki, bu da vakuumun bütün səthi boyunca bərabər ötürülməsini təmin edir. Bu dizayn səth yivlərinə və ya qazılmış vakuum deliklərinə ehtiyacı aradan qaldırır, nəticədə vahid tutma qüvvəsi və substratda yerli gərginliyin konsentrasiyasını minimuma endirir. Nəticədə, vaflinin əyilməsi, sürüşməsi və kənarın zədələnməsi əhəmiyyətli dərəcədə azaldılır, bu da paqonu nazik vaflilər və yüksək dəqiqlikli proseslər üçün ideal edir.

Paslanmayan polad baza möhkəm mexaniki dəstək təmin edir və texnoloji avadanlıqla təhlükəsiz inteqrasiyanı təmin edir. Onun yüksək struktur gücü və emal qabiliyyəti vakuum kanallarının, montaj interfeyslərinin və hizalanma xüsusiyyətlərinin dəqiq istehsalına imkan verir. Paslanmayan poladdan hazırlanmış baza həm də mexaniki yorğunluğa və deformasiyaya qarşı əla müqavimət göstərir və uzun müddətli istismar zamanı çuxurun sabit performansını təmin edir. Sərt metal baza və dəqiq keramika üst lövhənin birləşməsi həm möhkəmlik, həm də dəqiqlik üçün optimallaşdırılmış yaxşı balanslaşdırılmış struktur yaradır.

SiC keramika seçilmiş materialdır

Silikon karbid keramikagörkəmli fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərinə görə məsaməli boşqab üçün seçilir. Mikroməsaməli SiC boşqab yüksək sərtlik, əla aşınma müqaviməti və üstün istilik keçiriciliyi nümayiş etdirir, bu da temperaturun dəyişməsi zamanı sürətli istiliyin yayılmasına və sabit işləməyə imkan verir. Onun aşağı istilik genişlənmə əmsalı, hətta lokallaşdırılmış istilik, soyutma və ya plazmaya məruz qalma ilə bağlı proseslərdə belə səthin düzlüyünü və ölçü sabitliyini qorumağa kömək edir.

Kimyəvi müqavimət onun digər vacib üstünlüyüdürməsaməli SiC keramikaboşqab. Yarımkeçirici istehsalında tez-tez rast gəlinən korroziyalı qazlara, turşulara, qələvilərə və plazma mühitlərinə xas olaraq davamlıdır. Bu kimyəvi təsirsizlik səthin deqradasiyası və hissəciklərin yaranmasının qarşısını alır, təmiz otaq tələblərini dəstəkləyir və daha yüksək proses məhsuldarlığına və avadanlığın etibarlılığına töhfə verir.

Səthin keyfiyyəti və dəqiqliyi vafli ilə effektiv işləmə üçün vacibdir. Mikroməsaməli SiC keramika boşqabı mükəmməl düzlük, paralellik və səthi bitirmə əldə etmək üçün dəqiqliklə örtülə və cilalana bilər. Yivsiz məsaməli səth həmçinin hissəciklərin tutulmasını azaldır və təmizləmə və baxım işlərini asanlaşdırır, bu da paqonu litoqrafiya, aşındırma, çökmə və yoxlama kimi çirklənməyə həssas proseslər üçün uyğun edir.

Paslanmayan polad bazası və mikroməsaməli SiC keramika lövhəsi olan məsaməli çubuq silisium vafliləri, silisium karbid vafliləri, sapfir, qallium nitridi (GaN) və şüşə altlıqlar da daxil olmaqla geniş çeşidli substratlarla uyğun gəlir. Fərdiləşdirmə variantları müxtəlif OEM alətlərinə və müştəriyə xas proses platformalarına qüsursuz inteqrasiyaya imkan verən çuxurun diametri, qalınlığı, məsaməlik səviyyəsi, vakuum interfeysi dizaynı və montaj konfiqurasiyası üçün mövcuddur.

Əməliyyat nöqteyi-nəzərindən, bu kompozit məsaməli çubuq vaflisin ardıcıl yerləşdirilməsi və vahid vakuum saxlanmasını təmin etməklə prosesin sabitliyini və təkrarlanmasını yaxşılaşdırır. Onun davamlı konstruksiyası təmir tezliyini azaldır və xidmət müddətini uzadır, ümumi sahiblik dəyərini aşağı salmağa kömək edir. Paslanmayan polad və mikroməsaməli SiC keramikasının üstünlüklərini birləşdirərək, bu məsaməli çəngəl dəqiqlik, təmizlik və uzunmüddətli performansın vacib olduğu qabaqcıl istehsal mühitləri üçün etibarlı, yüksək dəqiqlikli həll təmin edir.