Silikon nitrid (Si₃N₄) yüksək istilik keçiriciliyi və əla mexaniki xassələrə malik olan, təxminən 320 Vt/(m·K) daxili istilik keçiriciliyinə malik struktur keramika materialıdır. Ətraf mühitin temperaturunda üstün sabitliyi sayəsində Si₃N₄ müasir yarımkeçirici sənayesi üçün geniş yayılmış keramika s......
Daha çox oxuYüksək səviyyəli yarımkeçirici cihazların istehsalında, SiO₂ filmləri adətən substrat səthinin təmizlənməsi üçün oksidləşmə prosesləri vasitəsilə əmələ gəlir və onların ümumi tətbiqlərinə əlavə maneə təbəqələri, səthi izolyasiya təbəqələri, qapı oksidi təbəqələri, sahə oksidləri və qurban oksidləri ......
Daha çox oxuTexnologiyanın inkişafı ilə cib telefonları, kompüterlər, elektrikli avtomobillər və robotlar kimi ağıllı məhsullar insanların həyatına inteqrasiya olunub. Bu məhsulların tərkibində çoxlu sayda yarımkeçirici çip var və çip istehsalı üçün aşındırma maşınları, litoqrafiya maşınları və ion implantatorl......
Daha çox oxuYüksək müqavimətli silikon vaflilər (HR-Si), adından da göründüyü kimi, son dərəcə yüksək müqavimətə malik monokristal silikon materialdır. Qabaqcıl yarımkeçiricilər istehsalı sahəsində yüksək tezlikli itki yüksək səviyyəli çip dizaynında əsas problemə çevrildi. Ultra yüksək müqaviməti sayəsində yük......
Daha çox oxuKompensasiya halqası və ya həbs halqası kimi də adlandırılan fokus halqası aşındırma avadanlığının, xüsusən də plazma quru aşındırma avadanlığının əvəzsiz komponentidir. Müasir yarımkeçirici istehsalında nanoölçülü dəqiq aşındırma prosesləri onsuz mümkün olmazdı. Fokus halqasının istifadəsi aşındırm......
Daha çox oxuQızdırma və soyutma profillərini dəqiq şəkildə tənzimləməklə, yumşalma prosesi qatqılı atomları aktivləşdirə, şəbəkənin zədələnməsini bərpa edə, daxili gərginliyi aradan qaldıra və vaflilərin elektrik etibarlılığını yaxşılaşdıra bilər. Bu kritik performans təkmilləşdirmələri yüksək güclü və yüksək i......
Daha çox oxu