Silikon Karbid Gofret Qayıqları: Yarımkeçiricidə "vaflilərin görünməz mühafizəçiləri"

Yarımkeçirici istehsalında oksidləşmə vaflinin oksid təbəqəsi yaratmaq üçün oksigenin vafli səthi boyunca axdığı yüksək temperaturlu bir mühitə yerləşdirilməsini nəzərdə tutur. Bu, vafli kimyəvi çirklərdən qoruyur, sızma cərəyanının dövrəyə daxil olmasının qarşısını alır, ion implantasiyası zamanı diffuziyanın qarşısını alır və aşındırma zamanı vaflinin sürüşməsinin qarşısını alır, vaflinin səthində qoruyucu təbəqə əmələ gətirir. Bu mərhələdə istifadə olunan avadanlıq oksidləşmə sobasıdır. Reaksiya kamerasındakı əsas komponentlərə vafli qayıq, baza, soba layneri boruları, daxili soba boruları və istilik izolyasiya edən pərdələr daxildir. Yüksək işləmə temperaturu səbəbindən reaksiya kamerası daxilində komponentlər üçün performans tələbləri də yüksəkdir.

Vafli qayıq vafli daşınması və emalı üçün daşıyıcı kimi istifadə olunur. Yüksək inteqrasiya, yüksək etibarlılıq, antistatik xüsusiyyətlər, yüksək temperatur müqaviməti, aşınma müqaviməti, deformasiyaya qarşı müqavimət, yaxşı dayanıqlıq və uzun xidmət müddəti kimi üstünlüklərə malik olmalıdır. Vafli oksidləşmə temperaturu təxminən 800 ℃ ilə 1300 ℃ arasında olduğundan və ətraf mühitdəki metal çirklərin tərkibinə dair tələblər son dərəcə ciddi olduğundan, vafli qayıq kimi əsas komponentlər yalnız əla istilik, mexaniki və kimyəvi xüsusiyyətlərə malik olmamalı, həm də son dərəcə aşağı metal çirkləri ehtiva etməlidir.

Substrata əsasən, vafli qayıqlar kvars kristal qayıqlar kimi təsnif edilə bilər,silisium karbid keramikavafli qayıqlar və s. Bununla belə, 7nm-dən aşağı texnoloji qovşaqların inkişafı və yüksək temperaturlu proses pəncərələrinin genişləndirilməsi ilə ənənəvi kvars qayıqları istilik sabitliyi, hissəciklərə nəzarət və ömür boyu idarəetmə baxımından tədricən qeyri-kafi olur. Silikon karbid qayıqları (SiC qayıqları) tədricən ənənəvi kvars məhlullarını əvəz edir.

NiyəSilikon karbid?

1. Yüksək Temperatur Sabitliyi

SiC qayıqlarının ən mühüm üstünlüyü yüksək temperaturda sabitlikdir. Onlar hətta son dərəcə yüksək temperaturda (>1300°C) praktiki olaraq heç bir deformasiya və ya sallanma nümayiş etdirmir və uzun müddət ərzində vafli yuvasının dəqiq yerləşdirilməsini qoruyur.

2. Ultra Uzun Ömür

Tək bir qayıq eyni vaxtda onlarla və yüzlərlə 12 düymlük vafliləri dəstəkləyə bilən yüksək yükdaşıma qabiliyyətinə malikdir. Ənənəvi kvars qayıqları ilə müqayisədə SiC qayıqları avadanlığın dəyişmə tezliyini və ümumi sahiblik dəyərini azaldaraq, orta hesabla 5-10 dəfə uzun xidmət müddəti təklif edir.

3. Təmiz Səth və Çox Aşağı Çirklənmə

Yüksək material təmizliyi və son dərəcə aşağı metal çirkləri silikon vaflilərin ikincil çirklənməsinin qarşısını alır. 0.1μm-dən aşağı Ra ilə mükəmməl səth pürüzlülüyünə nəzarət hissəciklərin tökülməsini maneə törədir və qabaqcıl proseslərin təmizlik tələblərinə cavab verir.

4. Ultra Yüksək Temperatur Prosesləri üçün uyğundur

1200°C-dən yuxarı temperatur tələb edən proseslər üçün (məsələn, müəyyən xüsusi qalın təbəqə oksidləşmə prosesləri, SiC cihazının istehsalı və ya dərin xəndəklərin doldurulması prosesləri) SiC qayıqları əvəzolunmaz seçimdir.

TətbiqləriSilikon karbid qayıqları

Yarımkeçiricilərin istehsalı

Oksidləşmə, diffuziya, kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) və ion implantasiyası kimi çip istehsalının yüksək temperaturlu proseslərində silikon karbid qayıqları silikon vafliləri dəstəkləmək, yüksək temperaturda onların düzlüyünü təmin etmək və qəfəslərin uyğunsuzluğunun və ya deformasiyanın qarşısını almaq üçün istifadə olunur.

Fotovoltaik sənaye

Silikon karbid keramikaəla mexaniki gücə, istilik dayanıqlığına, yüksək temperatur müqavimətinə, oksidləşmə müqavimətinə, termal şok müqavimətinə və kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimətə malikdir, bu da onları metallurgiya, maşınqayırma, yeni enerji və tikinti materialları kimyası kimi məşhur sahələrdə geniş istifadə edir. Onların performansı fotovoltaik istehsalda diffuziya, LPCVD (aşağı təzyiqli kimyəvi buxar çökmə) və TOPcon hüceyrələri üçün PECVD (plazma kimyəvi buxar çökmə) kimi istilik prosesləri üçün də kifayətdir. Ənənəvi kvars materialları ilə müqayisədə qayıq dayaqları, kiçik qayıqlar və boru məmulatları hazırlamaq üçün istifadə edilən silisium karbid keramika materialları daha yüksək güc, daha yaxşı istilik dayanıqlığı və yüksək temperaturda deformasiyaya məruz qalmaz. Onların istismar müddəti də kvarsdan beş dəfə çoxdur ki, bu da istismar xərclərini və texniki xidmətin dayandırılması səbəbindən enerji itkilərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. Bu, aydın qiymət üstünlüyü ilə nəticələnir və xammal geniş şəkildə mövcuddur.

Üçüncü nəsil yarımkeçiricilər

Metal-üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) reaksiya kamerasında, ammonyak (NH3) kimi aşındırıcı qaz mühitlərinə tab gətirə bilən, qallium nitridi (GaN) kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materialların epitaksial böyüməsini dəstəkləyən və LED çiplərinin səmərəliliyini artırmaq üçün sapfir substratları dəstəkləmək üçün silikon karbid qayıqları istifadə olunur. Silikon karbid monokristal artımında, silisium karbid qayıqları, ərimiş silisiumun yüksək temperaturlu korroziya mühitinə tab gətirərək, silisium karbid monokristallarının böyüməsi üçün sabit dəstək təmin edən və yüksək keyfiyyətli silisium karbidinin tək kristallarının hazırlanmasını təşviq edən silisium karbid tək kristal inkişaf sobalarında toxum kristal dayaqları kimi xidmət edir.

Silikon karbid Wafer Boat Development Trends

Bazar baxımından, SEMI məlumatlarına görə, qlobal vafli qayıq bazarının həcmi 2025-ci ildə təqribən 1,4 milyard ABŞ dolları təşkil edir və 2028-ci ilə qədər 1,8 milyard ABŞ dollarına çatacağı proqnozlaşdırılır. Silikon karbidin nüfuzetmə dərəcəsinin 20%-ni və Çində bazar payının üçdə birini (Çin Yarımkeçiricilər Assosiasiyasından əldə edilən məlumatlar) və bazarın həcmi milyon ABŞ dolları olacaq672 müvafiq olaraq 864 milyon ABŞ dolları.

Texnoloji cəhətdən, silisium karbid kvarsdan daha yüksək istilik genişlənmə əmsalı var, bu da tətbiqlərdə çatlamağa daha çox meyllidir. Buna görə də, tikişləri azaltmaq və hissəciklərin tökülməsi riskini azaltmaq üçün istehsalda inteqrasiya olunmuş qəlibləmə texnologiyası təşviq edilir. Bundan əlavə, vafli qayığın diş yivinin dizaynının optimallaşdırılması, beş oxlu emal və məftil kəsmə texnologiyaları ilə birlikdə vafli idarə olunmasının dəqiqliyini və hamarlığını təmin edir.

Semicorex yüksək keyfiyyət təklif edirSilikon karbid vafli qayıqlar. Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com