Ümumi yarımkeçirici kvars komponentləri və tətbiqləri

Kvars, silikon dioksiddən ibarət üçölçülü çərçivəli mineral kristal olan triqonal kristal sisteminə aiddir. Tipik olaraq, təmiz kvars rəngsiz və şəffafdır, lakin iz piqment ionları, incə dispers daxilolmalar və ya rəng mərkəzlərinin formalaşması nəticəsində müxtəlif rənglər alır. Çoxlu əla xüsusiyyətlərə malik olan kvars yarımkeçiricilərin istehsalının müxtəlif proseslərində geniş şəkildə tətbiq olunur və onun performansı və keyfiyyəti yarımkeçirici cihazların məhsuldarlığına, performansına və qiymətinə birbaşa təsir göstərir.

1. Kvars pota

Thekvars tigeləriyüksək temperaturda monokristal silisium artımı prosesində polikristal silikon xammalı saxlamaq üçün istifadə olunur. Dayanıqlı dəstək materiallarını təmin etmək üçün kvars çarxları yüksək temperaturda əla sabitliyə (ərimə nöqtəsi >1700 ℃) və sərt yüksək temperaturlu iş şəraitinin çətinliklərinə tab gətirmək üçün aşağı istilik genişlənmə əmsalına malik olmalıdır. Yarımkeçirici tətbiqlər üçün kvars kvarsları 4N8 və ya daha yüksək dərəcəli yüksək təmizlikli kvarsdan hazırlanmalıdır. Bu müdrik material seçimi yüksək temperatur səbəbiylə kvars qabından çirkli yağıntıların yaratdığı kristal çirklənmə riskini effektiv şəkildə azalda bilər.

Kvars soba boruları adətən diffuziya, oksidləşmə və kimyəvi buxar çökməsi (CVD) kimi müxtəlif vafli istehsal prosesləri üçün yüksək temperaturlu reaksiya kameraları kimi xidmət edir. Beləlikləkvars soba borularıyüksək temperatur mühitlərinin səbəb olduğu deformasiya və ya yumşalmaların qarşısını almaq üçün əla yüksək temperatur müqavimətinə sahib olmalıdırlar. Bəzi proseslərdə hidroksil qruplarının istilik sabitliyinə təsirini azaltmaq üçün hətta dehidroksilləşmə müalicəsi tələb olunur. Kvars soba borularının istehsalı, həmçinin reaksiya prosesi zamanı çirklərin çökməsinin qarşısını almaq və vafli emal nəticələrinə təsir etmək üçün metal çirkləri olan yüksək təmizlikli kvars materialını tələb edir.

Kvars qayıqları adətən onlarla və yüzlərlə vafli daşımaq və daşımaq üçün kvars soba boruları ilə birlikdə istifadə olunur. Buna görə də,kvars qayıqlarıadətən kvars soba boruları ilə eyni əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa və mexaniki möhkəmlik baxımından sabit, etibarlı performansa malik olmalıdır.

Kvars fokus üzükləriquru aşındırma prosesləri üçün xüsusi hazırlanmışdır. Plazmanı məhdudlaşdırmaq və homojenləşdirmək üçün onlar adətən vafli ətrafında quraşdırılır, vaflidə aşındırma sürətinin və naxışların vahidliyini effektiv şəkildə təmin edir. Bu əməliyyat mühiti plazma korroziyasına qarşı güclü müqavimətə, son dərəcə yüksək ölçülü dəqiqliyə və anormal boşalmaların və ya hissəciklərin yaranmasının qarşısını almaq üçün hamar səthə malik olmaq üçün kvars fokus halqalarını tələb edir.