Sic giriş üzükləri

Semikorex SIC Giriş üzükləri, xüsusən də epitaksial reaktorlar və depozit reaktorlarında və çökmə avadanlıqlarında, qazın vahidliyi və proses sabitliyinin keyfiyyət və cihazın performansı ilə vaffer emalına təsir göstərdiyi hisslər. SIC Inlet Rings, proses qazlarının girişini idarə etmək üçün nəzərdə tutulmuşdur, emal zamanı geniş temperaturda temperatur və kimyəvi reaktivliyə dair vaffer səthləri üzərində vahid qaz axını təmin edərkən dəqiq bir qaz axını təmin etmək üçün hazırlanmışdır. SIC giriş üzükləri, həddindən artıq yüksək saftilik silikon karbidindən (SIC), istilik şoku, korroziyaya qarşı müqavimət və heç bir hissəcik nəslinə qarşı davamlı olmasına imkan verən, daha çox hissəcik nəsli - inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsalın vacib bir komponentidir.

Silikon karbidinin bir maddi olaraq baş üstünlüyü həddindən artıq istilik şəraiti yaşamağın qabiliyyətidir. Epitaksial böyümə və digər yarımkeçirici proseslər vəziyyətində reaktorlar ənənəvi materialların üstündən keçə biləcək yüksək temperatur səviyyələrini saxlayır. Sic giriş üzükləri, deformasiyası və xüsusilə də çözülməmiş temperaturdan sonra termal dözə bilir. Qazların axın vahidliyinin pozulmaması üçün ölçülü sabitliyi saxlaya bilirlər. Bundan əlavə, SIC giriş üzüklərinin temperatur müqaviməti uzun əməliyyat dövrləri üzərində proseslərin vahid şəraitini təmin edir. Bu amil yüksək səsli istehsal üçün, eləcə də cihaz istehsalı üçün dəyərlidir.

Kimyəvi müqavimət, istilik sabitliyinə əlavə olaraq, başqa bir vacib keyfiyyətdirSisGiriş üzükləri. Yarımkeçirici proseslər, sile, hidrogen və ammiak kimi reaktiv qazları cəlb edə bilər və ya bəzi xlor əsaslı kimmissiyaların istifadəsini əhatə edə bilər. Reaktiv qazlara məruz qaldıqda korlanan və ya pisləşən materiallar ilk məruz qaldıqdan sonra gofretlərin çirklənməsinə səbəb ola bilər və nəticədə bir prosesin səmərəliliyinin itkisinə səbəb ola bilər. SIC, radikal təmizliyi qoruyan, hissəcik tipli çirklənmənin qarşısını alan bir inert səthinin qorunmasına imkan yaradır və daxili məhsulun bütövlüyünü qoruyaraq, daha yüksək məhsula və endirilmiş qüsurlara aparır.

Emal dəqiqliyi bir giriş üzüyünün performansında başqa bir həyati baxılmasıdır. Üzükün həndəsəsi proses qazlarının axın xüsusiyyətlərini idarə etməkdə vacibdir. Yüngül uyğunsuzluq qazların qeyri-bərabər paylanmasına səbəb olur və qeyri-bərabər olmayan film böyüməsinə və ya gofret boyunca dopinq xüsusiyyətlərinə səbəb olur.Sic giriş üzükləriYaxın dözümlülük, yaxşı düzlük və əla səth bitirdikdən sonra dəqiq üsullardan istifadə edərək istehsal olunur. Giriş üzüklərinin dəqiq aspekti, qazı kamerasına təkrarlanan, vahidlərin voberlərin idarə olunmasına birbaşa təsir edən müddətə təkrarlanmasını təmin edir.

Özelleştirme, SIC giriş üzüklərinin başqa bir əhəmiyyətli bir üstünlüyüdir. Yarımkeçirici avadanlıq və proseslərin fərqli dizaynları səbəbindən, hər bir tətbiqin düzgün yerləşdirilməsi üçün fərqli bir komponent tələb olunur. SIC Inlet Üzükləri müxtəlif ölçülərdə, formalarda və növlərdə istehsal edilə bilər, bununla da müxtəlif reaktor modellərinin və tətbiqlərinin ehtiyaclarını ödəmək olar. Tamaşanın müxtəlif səth müalicəsi və optimal performans üçün cilalama, müştərilərə öz istehsal mühitinə bənzərsiz bir həll uyğunlaşdırılması üçün performans daha da yaxşılaşdırıla bilər.

Texniki müavinətlərə əlavə olaraq, SIC giriş üzükləri əməliyyat və iqtisadi faydalara malikdir. İstilik və kimyəvi streslərə qarşı davamlılıq, daha az iş vaxtı və istehlak materiallarına çevrilən daha az əvəzetmə və daha aşağı təmir xərcləri deməkdir. Yarımkeçirici Fab-da ötürmə qabiliyyətini artırmaq və səmərəliliyi artırmaq istəyərkən, SIC Inlet üzükləri proses keyfiyyətini qoruyarkən uzunmüddətli xərcli bir həll təklif edir.

SemikorexSic giriş üzükləriYarımkeçirici istehsal proqramları üçün inkişaf etmiş performansını təmin etmək üçün silikon karbid materialının qabaqcıl xüsusiyyətlərini birləşdirin. Yüksək istilik müqavimətini, görkəmli kimyəvi sabitlik və dəqiq işləmə, SIC inlet üzükləri, uzunmüddətli davamlılıq ilə yüksək texnoloji tətbiqlər üçün qaz axınına nəzarət etmək üçün etibarlılıq təklif etmək üçün hazırlanmışdır. Çirklənmə qabiliyyətli və özelleştirilebilir, Sic Inlet Rings, proses sabitliyini, yüksək səmərəliliyi və qurğular üçün məhsuldarlığı qorumaq istəyən Fabs üçün əsas komponentdir. Semikorex-dən Sic giriş üzüklərini seçərək, yarımkeçirici istehsalçıları yarımkeçirici istehsalda ən sərt proseslərin tələblərini ödəmək üçün hazırlanmış sübut edilmiş bir həll ilə işləyirlər.