Semicorex horizontal silisium karbid qayıqları yüksək səviyyəli yarımkeçirici dərəcəli silisium karbiddən dəqiqliklə hazırlanmış qabaqcıl yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün əsas üfüqi vafli daşıyıcılardır. Geniş və zamanla sınaqdan keçirilmiş istehsal imkanları ilə Semicorex bizim hörmətli müştərilərimizə yüksək uyğun, xüsusi dizaynlı üfüqi silisium karbid qayıqları təqdim edə bilər.
Semicorex üfüqisilisium karbid qayıqları3D çap texnologiyasından istifadə edərək inteqral şəkildə formalaşır və sonra yüksək temperaturda sinterləmə yolu ilə hazırlanır. Müxtəlif yüksək temperaturlu üfüqi soba ölçülərinə uyğun olmaq üçün nəzərdə tutulmuş bu komponentlər diffuziya, oksidləşmə və kimyəvi buxar çökmə də daxil olmaqla kritik yüksək temperaturlu yarımkeçirici istehsal proseslərində vafli saxlanmasını möhkəm şəkildə təmin etmək üçün geniş şəkildə tətbiq edilir.
| Xüsusiyyətlər |
Semicorex üfüqi silisium karbid qayıqları |
| Kütləvi sıxlıq |
3,05 q/sm³ |
| hissəciklər |
3 μm |
| Bükülmə Gücü |
260 Mpa |
| Sıxılma Gücü |
500 Mpa |
| Termal Genişlənmə əmsalı (otaq temperaturu 1000 ℃-ə qədər) |
4.3*10-6 |
| Saflıq |
5,38 ppm |
| Dartma modulu |
354 Gpa |
| İstilik keçiriciliyi |
135 Vt/(m·K) |

Analoqu olmayan material gücü və sərtliyi Semicorex üfüqi silisium karbid qayıqlarına əla dayaq tutumu verir ki, bu da onlara eyni vaxtda birdən çox vafli stabil şəkildə daşımağa imkan verir. Dəqiq yuva emal vasitəsilə Semicorex üfüqi silisium karbid qayıqları yarımkeçirici vafliləri möhkəm şəkildə düzəldə və etibarlı şəkildə saxlaya bilir. Bərabər aralıqlı yuva quruluşu vaflilərin bütün emal dövrü ərzində sabit mövqedə qalmasını təmin edir və bununla da yarımkeçiricilərin istehsal proseslərinin ardıcıllığına və dəqiqliyinə zəmanət verir.
Üstün yüksək temperatur müqaviməti və korroziyaya davamlılığı sayəsində Semicorex üfüqi silisium karbid qayıqları yüksək temperaturlu oksigen, azot və ya aşağı konsentrasiyalı hidrogen xlorid atmosferi kimi ciddi iş mühitlərinə tab gətirə bilir. Bu müstəsna material xassələri qayıqların istismar müddətini xeyli uzadan yüksək temperaturlu aşındırıcı qazların yaratdığı korroziya və zədələnmənin qarşısını effektiv şəkildə ala bilir.
Adi silisium karbidlə örtülmüş qrafit qayıqlardan fərqli olaraq, Semicorex üfüqi silisium karbid qayıqları yarımkeçirici dərəcəli, yüksək təmizlikli qayıqlardan hazırlanır.silisium karbid(99,999%) ultra aşağı çirklilik tərkibinə malikdir. Bu premium material seçimi, hətta yüksək temperatur və sərt korroziyalı mühitlərə məruz qaldıqda belə çirkləndiricilərin qazdan çıxarılması və ya örtük soyulması riskini aradan qaldırır. Bundan əlavə, silikon karbid qayıqlarımızın hər biri vakuum qablaşdırmadan əvvəl ciddi ultrasəs təmizləmə proseslərinə məruz qalır ki, bu da qabaqcıl yarımkeçirici istehsal proseslərinin tələb etdiyi təmizlik standartlarına uyğunluğu təmin edir.