Sic fokus üzüyü

Semikorex SIC Focus Ring, yüksək saflıq silikon karbid tərəfindən istehsal olunan dəqiq mühəndis, üzük forması komponentidir. SIC Focus Ring qabaqcıl yarımkeçirici emal tətbiqləri üçün hazırlanmışdır. Yüksək saflıq silikon karbid, istilik sabitliyi (yüksək ərimə nöqtəsi), mexaniki davamlılıq (yüksək sərtlik), bir çox nəsil gofret istehsal texnologiyalarının xüsusiyyətlərinə uyğun olaraq vacib olan elektrik enerjisi) və elektrik keçirmə xüsusiyyətləri baxımından əla performans təmin edir. SIC Focus Ring, plazma etching və çökmə kamerası komponentlərində tapılan komponentlərdir və plazma paylamasına nəzarət etmək, vafli vahidliyə nail olmaq və kütləvi istehsalda məhsul vermək üçün vacib rol oynayır.

SIC Focus Ringin material təmizliyi və elektrik işləri bu komponenti müəyyənləşdirən və keramika materiallarından fərqləndirən ən vacib amillərdən bəziləridir. Yüksək saflıqsilikon karbidənənəvi keramika materiallarından fərqli olaraq, birləşməsini təmin edir 

sərtlik, həm də bir çox kimyəvi maddələrə və bənzərsiz elektrik xüsusiyyətlərinə qarşı müqavimət. Qeyd edək ki, daha da əhəmiyyətlisi, yüksək təmizlik silikon karbidləri, plazma ilə qarşılıqlı fəaliyyət göstərməsi üçün ideal yarı keçirici balans və ya təhqiramiz bir performansın ən uyğun səviyyəsini təmin etmək üçün ideal yarı keçirici balans istehsal etmək üçün, emalı və təhqiredici performansın, yüklənmə və elektrik disbalansının sabit performansına imkan verən, emalı və disbalansın proses səhvlərinə səbəb olma ehtimalı daha yüksəkdir.

Plazmanın kənar effekti səbəbindən sıxlıq mərkəzdə daha yüksəkdir və kənarlarda daha aşağıdır. Diqqəti çəkən bir forma və CVD SIC-nin maddi xüsusiyyətləri vasitəsilə xüsusi bir elektrik sahəsi yaradır. Bu sahə, şarj edilmiş hissəcikləri (ion və elektronları) plazmadakı gofret səthinə, xüsusən də kənarında yerləşdirir. Bu, mərkəzdə ona daha yaxın gətirərək, bu, bu, plasma sıxlığını effektiv şəkildə artırır. Bu, vaffer boyunca vahidliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır, kənar zərərləri azaldır və məhsuldarlığı artırır.

Merkuri istehsalı, sıx ölçülü dözümlülük və hamar bir səth bitirən mürəkkəb emal və cilalama proseslərindən istifadə edən SIC Focus Ring emal edir. Bu komponentlərin ölçülü dəqiqliyi bir çox plazma etch və çökmə sistemləri boyunca bir-birini əvəz etmək üçün müxtəlif yarımkeçirici avadanlıq tədarükçüləri ilə uyğunluğa imkan verir. Xüsusi dizaynlar, üzük qalınlığı, daxili və xarici diametri və səth keçiriciliyinin səviyyəsi də daxil olmaqla xüsusi proses tələblərinə cavab vermək üçün də inkişaf etdirilə bilər.

SIC Focus Ringin tətbiqləri Yarımkeçirici istehsalında geniş bir sıra əhatə edir: DRAM, NAND Flash, Məntiq cihazları və yeni güc yarımkeçiricisi texnologiyaları. Cihaz həndəsi kiçildikcə və proses qovşaqları ilə irəliləməyə davam etdikcə, SIC Focus Ring kimi yüksək etibarlı sabit kamera komponentlərinə ehtiyac kritik olur. SIC Focus Ring plazmanın dəqiq nəzarəti verir və ardıcıl olaraq vafli keyfiyyətini artırır, sənayenin heç də kiçik, daha sürətli və səmərəli elektron cihazlara olan ambisiyalarını artırır. Semikorex SIC Focus Ring, materialların, dəqiq mühəndislik və yarımkeçirici proses təkamülünün kəsişmə nöqtəsini müəyyənləşdirir. SIC Focus Ring əla istilik sabitliyi, üstün kimyəvi müqavimət və xüsusi elektrik keçiriciliyinə malikdir. Bu xüsusiyyətlər bunu proseslər zamanı etibarlılıq və məhsuldarlığın təmin edilməsində kritik bir komponent halına gətirir.