Kənar halqalar

Semikorex Edge üzükləri, xüsusən plazma etching və kimyəvi buxarlanma və kimyəvi buxarlanma (CVD) daxil olmaqla, vafli emal tətbiqləri üçün tam yarımkeçirici istehsal prosesinin kritik hissəsidir. Edge üzüklər, proses sabitliyi, gofret məhsulu və cihaz etibarlılığını yaxşılaşdırarkən enerjini vahid şəkildə yaymaq üçün yarımkeçirici vferin xarici perimetrini əhatə etmək üçün hazırlanmışdır. Kənar üzüklərimiz yüksək saflıq kimyəvi buxar doğuşdan silikon karbid (CVD SIC), tələb olunan proses mühiti üçün qurulmuşdur.

Suvermənin kənarındakı enerjinin qeyri-bərabərliyi və plazma təhrifinin qüsurlar, sürüşmə və ya zərər itkisinə risk yaratdığı plazma əsaslı proseslər zamanı problemlər yaranır. EDGE RINGS, bu riski enerji sahəsini gofron perimetri ətrafında yönəltmək və formalaşdırmaqla bu riski minimuma endirir. EDGE Üzüklər, vferin xarici kənarından kənarda oturub kənar effektləri minimuma endirən, vaffer kənarını minimuma endirən və vaffer səthində zəruri əlavə vahidlik təmin edir.

CVD SIC-nin maddi faydaları:

Kənar üzüklərimiz, sərt proses mühitləri üçün bənzərsiz dizayn edilmiş və mühəndis olan yüksək saflıq CVD SIC-dən hazırlanır. CVD SIC, müstəsna istilik keçiriciliyi, yüksək mexaniki gücü və əla kimyəvi müqavimət - CVD SIC-ni davamlılıq, sabitlik və aşağı çirklənmə problemləri tələb edən yarımkeçirici tətbiqlər üçün seçim materialını təşkil edən bütün xüsusiyyətlər.

Yüksək saflıq: CVD SIC, heç bir hissəciklərin yaranmadığı və inkişaf etmiş node yarımkeçiricilərində çox vacib olan metal çirklənmə olmadığı məna daşıyır.

Termal sabitlik: material, zərif temperaturda ölçülü sabitliyi qoruyur, bu da onun plazma mövqeyində düzgün vaffer yerləşdirmə üçün vacibdir.

Kimyəvi inertlik: Bu, bir plazma etch mühitində, eləcə də CVD proseslərində istifadə olunan flüor və ya xlor kimi korroziya qazalarına inaxdır.

Mexanik gücü: CVD SIC, maksimum həyatı təmin edən və təmir xərclərini minimuma endirən uzadılmış dövr dövrləri ərzində krakinq və eroziyaya tab gətirə bilər.

Hər bir kənar üzük, proses otağının həndəsi ölçülərini və gofretin ölçüsünü yerləşdirmək üçün xüsusi hazırlanmışdır; adətən 200 mm və ya 300 mm. Dizayn tolerantları, kənar halqanın modifikasiyaya ehtiyacı olmayan mövcud proses modulunda istifadə edilə biləcəyini təmin etmək üçün çox sıx alınır. Xüsusi həndəsə və səth bitiriciləri unikal OEM tələblərini və ya alət konfiqurasiyasını yerinə yetirmək üçün mövcuddur.