Ev > Məhsullar > Keramika > Silikon karbid (SiC) > Yarımkeçiricilərin emalı üçün davamlı fokus halqaları
Yarımkeçiricilərin emalı üçün davamlı fokus halqaları

Yarımkeçiricilərin emalı üçün davamlı fokus halqaları

Yarımkeçiricilərin emalı üçün Semicorex davamlı fokus halqaları yarımkeçiricilərin emalında istifadə olunan plazma aşındırma kameralarının ekstremal mühitlərinə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Fokus üzüklərimiz sıx, aşınmaya davamlı silisium karbid (SiC) örtüyü ilə örtülmüş yüksək təmizlikli qrafitdən hazırlanmışdır. SiC örtüyü yüksək korroziyaya və istilik müqavimətinə, həmçinin əla istilik keçiriciliyinə malikdir. Fokus halqalarımızın xidmət müddətini yaxşılaşdırmaq üçün kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesindən istifadə edərək qrafit üzərinə nazik təbəqələrdə SiC tətbiq edirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Yarımkeçiricilərin emalı üçün dayanıqlı fokus halqalarımız vaflinin kənarı və ya perimetri ətrafında aşındırma vahidliyini yaxşılaşdırmaq, çirklənməni və planlaşdırılmamış təmiri minimuma endirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Onlar sürətli termal yumşalma (RTA), sürətli termal emal (RTP) və sərt kimyəvi təmizləmə üçün yüksək sabitdir.

Semicorex-də biz yarımkeçiricilərin emalı üçün yüksək keyfiyyətli, sərfəli davamlı fokus halqaları təmin etməyə diqqət yetiririk, müştəri məmnuniyyətini prioritetləşdiririk və sərfəli həllər təqdim edirik. Biz sizin uzunmüddətli partnyorunuz olmağı, yüksək keyfiyyətli məhsullar və müstəsna müştəri xidməti təqdim etməyi səbirsizliklə gözləyirik.

Yarımkeçiricilərin emalı üçün davamlı fokus halqalarımız haqqında daha çox məlumat əldə etmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.


Yarımkeçiricilərin emalı üçün dayanıqlı fokus halqalarının parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri

SiC-CVD Xüsusiyyətləri

Kristal strukturu

FCC β fazası

Sıxlıq

q/sm³

3.21

Sərtlik

Vickers sərtliyi

2500

Taxıl ölçüsü

μm

2~10

Kimyəvi Saflıq

%

99.99995

İstilik tutumu

J kq-1 K-1

640

Sublimasiya temperaturu

2700

Feleksual Gücü

MPa (RT 4 bal)

415

Gəncin Modulu

Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)

430

Termal Genişlənmə (C.T.E)

10-6K-1

4.5

İstilik keçiriciliyi

(Vt/mK)

300


Yarımkeçiricilərin emalı üçün dayanıqlı fokus halqalarının xüsusiyyətləri

● Yüksək təmizlikli qrafit və pin dəliyinə qarşı müqavimət və daha uzun ömür üçün SiC örtük.

● Həm qrafit substratı, həm də SiC təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.

● SiC örtüyü xidmət müddətini yaxşılaşdırmaq üçün nazik təbəqələrdə tətbiq olunur.



Qaynar Teqlər: Yarımkeçirici Emalı üçün Dayanıqlı Fokus Üzükləri, Çin, İstehsalçılar, Təchizatçılar, Zavod, Xüsusi, Toplu, Qabaqcıl, Davamlı
Əlaqədar Kateqoriya
Sorğu göndərin
Sorğunuzu aşağıdakı formada verməkdən çekinmeyin. 24 saat ərzində sizə cavab verəcəyik.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept