Diffuziya soba borusu

Diffuziya soba borusu adətən yüksək təmizlikli kvarsdan və ya SiC-dən hazırlanır, hər ikisi müstəsna istilik sabitliyi və kimyəvi reaksiyalara qarşı müqavimət göstərir. Bu vacibdir, çünki diffuziya sobasının borusu emal olunan yarımkeçirici materiallara çirkləri daxil etməməlidir. Hətta ən kiçik çirklər də hazırlanmış yarımkeçirici cihazların işinə və etibarlılığına əhəmiyyətli dərəcədə zərərli təsir göstərə bilər.

Diffuziya sobasının borularının qurulmasında istifadə olunan materiallar emal zamanı yarımkeçirici vaflilərin çirklənməsinin qarşısını almaq üçün yüksək təmizliyə görə seçilir. Diffuziya soba borusu deformasiya etmədən və ya struktur bütövlüyünü pozmadan yarımkeçiricilərin emalı zamanı rast gəlinən həddindən artıq temperaturlara dözür. Bu, uzun müddət işləmə müddətində ardıcıl və etibarlı performans təmin edir. Termik sabitliyə əlavə olaraq, diffuziya soba borusu yarımkeçiricilərin emalında istifadə olunan kimyəvi maddələrin və qazların korroziyalı təsirlərinə də müqavimət göstərir. Bu, borunun zamanla deqradasiyasının qarşısını alır və uzunömürlülüyünü təmin edir.

Bəzi diffuziya soba boruları performanslarını daha da artırmaq və ya çirklənmə və ya kimyəvi reaksiyalara qarşı əlavə qorunma təmin etmək üçün xüsusi materiallardan hazırlanmış laynerlərə malik ola bilər. Bu laynerlər boru materialının xüsusiyyətlərini və yarımkeçirici istehsal prosesinin xüsusi tələblərini tamamlamaq üçün diqqətlə seçilir.