CVD və CVI vakuum sobası

Semicorex, Çində Silikon Karbid Kaplamalı məhsulların geniş miqyaslı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Biz xüsusi soba həlləri təqdim edirik. Bizim CVD və CVI Vakuum Sobamız yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Semicorex CVD və CVI Vakuum Sobası kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesləri üçün nəzərdə tutulmuş yüksək keyfiyyətli alətdir. Reaksiya temperaturu 2200°C-ə qədərdir. O, silisium karbid, bor nitridi, qrafen və s. daxil olmaqla geniş çeşidli materialları yerləşdirməyə qadirdir. CVD sobası möhkəm dizayna malikdir və uzunmüddətli istifadə üçün etibarlılıq və davamlılığı təmin edən yüksək keyfiyyətli materiallardan hazırlanır. Həm üfüqi, həm də şaquli strukturlara malikdir.

Ərizə:C/C kompozit əyləc diski, tige, qəlib və s.

Semicorex CVD və CVI Vakuum Fırının xüsusiyyətləri

1.Uzun müddətli istifadə üçün yüksək keyfiyyətli materiallardan hazırlanmış möhkəm dizayn;

2. Kütləvi axın tənzimləyiciləri və yüksək keyfiyyətli klapanların istifadəsi ilə dəqiq idarə olunan qaz nəqli;

3.Təhlükəsiz və etibarlı əməliyyat üçün həddindən artıq temperaturdan qorunma və qaz sızmasının aşkarlanması kimi təhlükəsizlik xüsusiyyətləri ilə təchiz edilmişdir;

4. Çox temperatur nəzarət zonaları, böyük temperatur vahidliyi istifadə;

5. Yaxşı sızdırmazlıq effekti və böyük anti-çirklənmə performansı ilə xüsusi dizayn edilmiş çökmə kamerası;

6. Çökmə ölü küncləri və mükəmməl çökmə səthi olmadan vahid qaz axını ilə çoxlu çökmə kanallarından istifadə;

7. Çöküntü prosesi zamanı qatran, bərk toz və üzvi qazlar üçün müalicə var

Əlavə Xüsusiyyətlər:

â¢Fırın qapısı: vida/hidravlik/əl qaldırma növü; yelləncək açılış/paralel açılış (böyük ölçülü

soba qapısı); əl ilə sıx / avtomatik kilidləmə halqası sıx

â¢ Soba qabı: bütün karbon polad/daxili təbəqə paslanmayan polad/bütün paslanmayan polad

â¢Fırın isti zonası: yumşaq karbon keçə/yumşaq qrafit keçə/bərk kompozit keçə/CFC

â¢Qızdırıcı element və muffle: izostatik pres qrafit/yüksək təmizlik, möhkəmlik və sıxlıq qrafit/incə ölçülü qrafit

â¢ Proses qaz sistemi: həcm/kütləvi debimetr

â¢ Termocüt: K növü/N növü/C tipi/S növü

CVD sobasının texniki xüsusiyyətləri
Model	İş zonasının ölçüsü (G × H × L) mm	Maks. Temperatur (°C)	Temperatur Vahidlik (°C)	Son Vakuum (Pa)	Təzyiq artım sürəti (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	Ï300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	Ï600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	Ï800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	Ï1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	Ï2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Yuxarıdakı parametrlər proses tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər, onlar qəbul standartı, detallı spesifikasiya kimi deyil. texniki təklif və müqavilələrdə qeyd olunacaq.