6 düymlük SiC qayıq

Semicorex 6 Inch SiC Boat, xüsusilə oksidləşmə, diffuziya və digər istilik prosesləri kimi tətbiqlər üçün yüksək temperaturda yarımkeçirici emal məhsuldarlığını və səmərəliliyini optimallaşdırmaq üçün nəzərdə tutulmuş qabaqcıl vafli daşıyıcıdır. Yüksək keyfiyyətli silisium karbidindən (SiC) hazırlanmış bu məhsul kritik yüksək temperatur əməliyyatları zamanı yarımkeçirici vaflilərin saxlanması üçün möhkəm həll təklif edir, üstün termal sabitlik, əla korroziyaya davamlılıq və minimal çirklənmə riskini təmin edir.

6 düymlük SiC qayığı yüksək təmizlikli silisium karbidindən (SiC) istifadə edilməklə istehsal olunur, bu material yüksək istilik xüsusiyyətləri, kimyəvi müqaviməti və sərt mühitlərdə davamlılığı ilə məşhurdur. SiC yüksək ərimə nöqtəsinə (təxminən 2700°C) malik olduğu üçün yarımkeçiricilərin istehsalında geniş istifadə olunur ki, bu da onu oksidləşmə və diffuziya sobalarında vafli emal kimi yüksək temperaturlu tətbiqlər üçün ideal hala gətirir. Qayığın dizaynı mükəmməl struktur bütövlüyünü və vahid istilik paylanmasını təmin edir ki, bu da yarımkeçirici kristalların böyüməsi, oksidləşmə və digər istilik müalicələrində ardıcıl nəticələr əldə etmək üçün çox vacibdir.

Əsas Xüsusiyyətlər və Faydalar

Yüksək İstilik Sabitliyi

SiC-nin müstəsna istilik keçiriciliyi 6 düymlük SiC qayığının əyilmə və ya pisləşmədən həddindən artıq temperaturlara tab gətirməsini təmin edir. Bu xüsusiyyət oksidləşmə və diffuziya prosesləri zamanı xüsusilə qiymətlidir, burada vaflinin ardıcıl emalı üçün dəqiq temperatur nəzarəti vacibdir.

Əla Kimyəvi Müqavimət

Silikon karbidin kimyəvi korroziyaya xas müqaviməti qayığı oksigen, azot və ya digər reaktiv elementlər kimi aqressiv qazlara məruz qalan mühitlərdə istifadə üçün ideal hala gətirir. Qayıq yüksək temperaturda, kimyəvi cəhətdən reaktiv mühitlərdə struktur bütövlüyünü və performansını qoruyur, çirklənmə ehtimalını azaldır.

Yüksək temperaturda davamlılıq

6 düymlük SiC qayıq oksidləşmə və diffuziya daxil olmaqla bir çox yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslər üçün tələb olan 1500°C-ə qədər olan temperaturlarda işləmək üçün hazırlanmışdır. Bu yüksək temperatur tolerantlığı hətta tələbkar tətbiqlərdə belə uzun xidmət müddətini təmin edir.

Aşağı Çirklənmə Riski

Yarımkeçirici emalda kritik amillərdən biri vafli səthinin çirklənməsini minimuma endirməkdir. SiC-nin aşağı çirklənmə səviyyələri və qeyri-reaktiv təbiəti 6 düymlük SiC qayığının təmiz və idarə olunan mühitə töhfə verməsini təmin edir və bununla da emal zamanı arzuolunmaz çirklənmə riskini azaldır.

Vahid Gofret Dəstəyi

Qayığın dizaynı vaflilərin bərabər şəkildə dəstəklənməsini təmin edir, vaflinin optimal düzülməsini təmin edir və yüksək temperaturda emal zamanı hər hansı sallanmanın və ya yanlış hizalanmanın qarşısını alır. Bu vahid dəstək ardıcıl nəticələrin təmin edilməsi və vafli qüsurların qarşısının alınması üçün vacibdir.

Fərdiləşdirmə Seçimləri

6 düymlük SiC Boat, müxtəlif vafli növləri üçün uyğunlaşdırılmış ölçülər, formalar və konfiqurasiyalar daxil olmaqla, xüsusi müştəri tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər. İstər oksidləşmə, diffuziya və ya digər istilik prosesləri üçün istifadə olunsun, qayıq müştərinin xüsusi proses axını üçün optimallaşdırıla bilər.

Yarımkeçiricilər İstehsalında Tətbiqlər

6 Inch SiC Boat əsasən yarımkeçirici istehsalında yüksək temperaturlu istilik proseslərində istifadə olunur. O, xüsusilə oksidləşmə və diffuziya sobalarında effektivdir, burada vaflinin uğurlu işlənməsi üçün temperaturun və atmosferin dəqiq nəzarəti tələb olunur.

• Oksidləşmə prosesi: Oksidləşmə prosesi zamanı silikon vaflilər vaflinin səthində nazik silikon dioksid təbəqəsi yaratmaq üçün yüksək temperaturda oksigenə məruz qalırlar. 6 düymlük SiC qayıq, bu yüksək temperatur prosesində vaflilərin təhlükəsiz və bərabər şəkildə tutulmasını, deformasiyanın və ya yanlış hizalanmanın qarşısını alır və oksid təbəqəsinin vahid böyüməsini təmin edir.
• Diffuziya prosesi: Diffuziya prosesində, elektrik xassələrini dəyişdirmək üçün silikon vafliyə əlavə maddələr daxil edilir. SiC Boat yüksək temperatur və diffuziya mühitinə dəqiq nəzarətin vacib olduğu bu kritik addım zamanı vaflilərə sabit və etibarlı dəstək verir. Mükəmməl istilik sabitliyi istənilən əlavə profilə nail olmaq üçün çox vacib olan vahid istiliyi təmin edir.
• Digər Yüksək Temperatur Tətbiqləri: Oksidləşmə və diffuziyadan başqa, 6 düymlük SiC qayığı tavlama, nitridləşmə və epitaksial böyümə kimi digər yüksək temperatur proseslərində istifadə edilə bilər. Onun yüksək istilik keçiriciliyi və istilik zərbəsinə qarşı müqaviməti onu yarımkeçirici qurğuların istehsalının müxtəlif mərhələləri üçün çox yönlü həll edir.

Digər materiallardan üstünlüklər

Kvars və ya qrafit kimi ənənəvi materiallarla müqayisədə silisium karbid yarımkeçirici istehsalında əhəmiyyətli üstünlüklər təklif edir. Kvars qayıqları termal şoka və kimyəvi reaksiyalara daha həssasdır, qrafit qayıqlar isə qaz çıxara və çirklənməyə səbəb ola bilər. Digər tərəfdən, SiC qayıqları çirklənmə, istilik qeyri-sabitliyi və ya deqradasiya riskləri olmadan sərt mühitlərdə öz performanslarını qoruyur. Bu, 6 düymlük SiC Boat-ı yüksək temperaturda yarımkeçiricilərin emalı üçün daha etibarlı və səmərəli seçim edir.

Semicorex 6 düymlük SiC Boat yarımkeçirici sənayesində vacib bir komponentdir və təkmil vafli emalı üçün lazım olan sabitliyi, kimyəvi müqaviməti və istilik performansını təmin edir. Onun yüksək istilik keçiriciliyi, kimyəvi korroziyaya qarşı müqaviməti və minimal çirklənmə riski onu oksidləşmə, diffuziya və digər yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslər üçün ideal seçim edir. İstər tədqiqat və inkişafda, istərsə də geniş miqyaslı istehsalda istifadə olunsun, 6 düymlük SiC Boat yarımkeçirici istehsalında ən yüksək keyfiyyətli nəticələri təmin etmək üçün lazım olan performans və etibarlılığı təmin edir.