Teflon kasetlər

Semikorex Teflon kasetləri, saflığın, kimyəvi müqavimət və istilik sabitliyinin vacib olduğu kimyəvi mühitlərdə istifadə üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı vafli daşıyıcılardır. Yüksək saflıq polietetrafluoroetilendən (PTFE), bu kasetlər yarımkeçirici istehsal, nəmli təmizləyici, kimyəvi təmizlik və yüksək aqressiv kimyəvi maddələrə məruz qalma qaydalarında çox istifadə olunur. Onların qeyri-reaktiv təbiəti onları silikon gofreti, şüşə panellər və digər dəqiq komponentlər kimi incə substratları və digər dəqiq komponentləri, digər dəqiq komponentləri və ya prosesə qarışıqlıq tətbiq etmədən digər dəqiq komponentləri ilə idarə etmək üçün idealdır.

Litoqrafiya, etching və ion implantasiyası kimi yarımkeçirici istehsalın müxtəlif proseslərində kasetlər müxtəlif qurğular arasında nəqliyyatın daşınmasında və köçürülməsində rol oynayır. Fərqli proses avadanlıqları kasetlər üçün kasetlər üçün fərqli interfeys tələbləri ola bilər ki, vafli daşıyıcılarının dəqiq qəbul edilərək yerləşdirilməsini təmin etsin.

Material və dizayn baxımından, istiliyədavamlı olan materiallar, əla mexaniki xüsusiyyətlərə malik materiallar, ölçülü sabitlik və davamlı, anti-statik, aşağı portlu, aşağı yağış və təkrar emal edilə bilər. Fərqli vafli ölçüləri, proses qovşaqları və proseslər fərqli materiallardan istifadə edir. Ümumi materiallar PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, Pei, Cop və s.

Teflon kasetləri hidrofluor turşusu, nitrik turşu, kükürd turşusu və digər güclü korroziyalardan istifadə edərək mühitlərdə üstün kimyəvi müqavimət təklif edir. Polipropilen və ya paslanmayan polad kimi adi materiallardan fərqli olaraq, PTFE pisləşmir; şişmir; Sərt kimyəvi hamamlarda heç bir maddə yoxdur. Buna görə performans uzun müddətə zəmanət verilir və buna görə kasetlərin yüksək ötürmə istehsal xətləri və ultra təmiz mühit üçün etibarlılığı. Onun möhkəmliyi daha aşağı təmir ehtiyacları və dəyişdirmə tezliyi, bununla da uzunmüddətli əməliyyat xərclərini azaltmaq deməkdir.

Teflon kasetləri çox yüksək istilik sabitliyini nümayiş etdirir. Onlar asanlıqla -200 ° C-dən + 260 ° C-dən, həm də yüksək temperaturlu proseslər üçün tətbiq olunan temperaturdan yapışa bilərlər. Hətta qızdırılan qurutma kameralarına və ya soyuq kimyəvi hamamlara yerləşdirilmiş, kasetlər struktur güclərini itirmir; Wafters emal zamanı təhlükəsiz bir şəkildə qalacağını təmin edərək çırpılmır və ya çatlamır. Bu temperaturun davamlılığı yarımkeçirici və mems uydurması üçün kritik olan nəzarəti və vahidliyi emal etmək üçün əhəmiyyətli dərəcədə kömək edir.

Teflon kassetlərinin eyni dərəcədə vacib bir xüsusiyyəti, onun inert, yapışmayan səthidir. PTFE, hissəciklər və kimyəvi qalıqların adsorbsiyasına icazə vermir, buna görə təmizlik mühitində çirklənmə risklərini azaltmaq. Bu, asan və qurumağa, beləliklə təmiz nəticələr və daha sürətli nəticələr və daha sürətli dövrün dövrünün nəticəsi yaradan hamar bir səth bitirməsi ilə birləşdirilməlidir. Yarımkeçirici emalı, qüsurların hətta mikroskopik çirkləndiricilər səbəb ola biləcəyi, bu təmizlik və kimyəvi inertlilik səviyyəsi məcburidir.

Hər kaset, sıx ölçülü toleranslara dəqiq bir şəkildə hazırlanmışdır, daşınan və maye içərisində dayanaraq boşluğa zəmanət verir. Onların asanlıqla hazırlanmış forması kimyəvi birja məzənnələrini sürətləndirən və təmizlənməni və ya vafli səthində vahidliyini yaxşılaşdıran və ya düzəldilməsini yaxşılaşdıran sürətli kimyəvi axın və drenajlara kömək edir.  Kasetlər, xüsusi substrat ölçüləri, yuva ölçüləri və işləmə tələblərinə uyğun, 6 düymlük, 6 düymlük və 8 düymlük boşluqlarda standart ölçülərdə mövcuddur.

Avtomatlaşdırılmış nəm skamyalar və robot vafli idarəetmə sistemləri ilə uyğunluq üçün nəzərdə tutulmuşdur, Teflon Cassettes asanlıqla ən çox yarımkeçirici istehsal qurmalarına inteqrasiya olunur. Onların sağlam inşası və təmizlik dərəcəli bitirmə, ISO sertifikatlı mühitlərin ciddi tələblərinə cavab verir. Bütün kasetlər hərtərəfli yoxlanışdan keçir və qabaqcıl mikroelektronika istehsalı üçün tələb olunan təmizlik standartlarına cavab vermək üçün ultra təmiz suda əvvəlcədən təmizlənir. Keyfiyyətə zəmanət protokollarına uyğunluğunu təmin etmək üçün uyğunluq və tam material izləmə sertifikatları təmin edilə bilər.