TaC örtüklü vafli reseptor

Semicorex TaC ilə örtülmüş vafli suseptor yarımkeçirici epitaksial (epi) emalı üçün Metal-Üzvi Kimyəvi Buxar Depoziti (MOCVD) sobalarında istifadə olunan mühüm komponentdir. Bu xüsusi yuvarlaq tutucu yüksək keyfiyyətli qrafit materialdan hazırlanmışdır və unikal Tantal Karbid (TaC) örtüyünə malikdir.

TaC örtüyünün əsas məqsədi yarımkeçiricilərin istehsalı proseslərinin tələbkar şərtləri zamanı TaC ilə örtülmüş vafli suseptorun məhsuldarlığını və davamlılığını artırmaqdır. Tantal karbid müstəsna sərtliyi, yüksək ərimə nöqtəsi və aşınmaya və korroziyaya qarşı müqaviməti ilə tanınır. Bu xüsusiyyətlər TaC ilə örtülmüş vafli suseptoru MOCVD sobasında baş verən kimyəvi reaksiyalardan və fiziki gərginliklərdən əsaslı qrafit qəbuledicisini qorumaq üçün ideal seçim edir.

TaC ilə örtülmüş vafli suseptor nazik təbəqələrin vaflilərə çökməsini asanlaşdırmaqla yarımkeçirici materialların epitaksial böyüməsində mühüm rol oynayır. Yüksək temperaturlara və sərt kimyəvi mühitlərə tab gətirmək qabiliyyəti dəqiq və etibarlı yarımkeçirici cihaz istehsalına nail olmaq üçün çox vacibdir.

Qrafit nüvəsi və Tantal Karbid örtüyü ilə TaC Örtülü Gofret Susseptoru, MOCVD prosesi zamanı yetişdirilən yarımkeçirici təbəqələrin təkrar istehsalına və keyfiyyətinə töhfə verərək ardıcıl və vahid istilik paylanmasını təmin edir. Bu qabaqcıl material birləşməsi onu müasir elektron cihaz istehsalının ciddi tələblərinə cavab verən yarımkeçiricilərin istehsalı üçün etibarlı və davamlı həll edir.