TaC örtüklü boru

Semicorex TaC Coated Tube-un gücü əsas materialın və xüsusi örtüyün sinerji birləşməsindədir:

Yüksək Saflıqlı İzotrop Qrafit Tonal Krem:TaC Örtülü Borunun nüvəsi əla istilik keçiriciliyi, aşağı istilik genişlənməsi və istilik zərbəsinə xas müqaviməti ilə məşhur olan ultra yüksək təmizlikli izotropik qrafitdən ibarətdir. Bu təməl yarımkeçiricilərin emalı üçün xarakterik olan sürətli temperatur dalğalanmalarına və yüksək istilik yüklərinə tab gətirə bilən möhkəm və dayanıqlı platforma təmin edir.

Tantal karbid---Davamlılıq və hərəkətsizlik qalxanı:CVD ilə tətbiq olunan TaC örtüyü qrafit substratını dəyişdirərək, müstəsna sərtlik, aşınma müqaviməti və kimyəvi təsirsizliyi verir. Bu qoruyucu təbəqə yarımkeçiricilərin istehsalı zamanı rast gəlinən aqressiv qazlara, plazmalara və reaktiv növlərə qarşı maneə rolunu oynayır və borunun struktur bütövlüyünü və uzunömürlülüyünü təmin edir.

Bu unikal material birləşməsi qabaqcıl yarımkeçirici istehsalı üçün vacib olan bir sıra üstünlüklərə çevrilir:

Rəqibsiz Temperatur Müqaviməti:TaC bütün məlum materialların ən yüksək ərimə nöqtələrindən birinə malikdir və hətta silisium karbidini (SiC) üstələyir. Bu həddindən artıq temperatur müqaviməti TaC örtülmüş boruya 2500°C-dən çox temperatur tələb edən proseslərdə etibarlı şəkildə işləməyə imkan verir və bu, tələb olunan istilik büdcələri ilə yeni nəsil yarımkeçirici cihazların istehsalına imkan verir.

Kritik proseslərə nəzarət üçün ultra yüksək təmizlik:Yarımkeçiricilərin istehsalında təmiz proses mühitlərinin saxlanması vacibdir. Yüksək təmizlikli qrafitin istifadəsi və dəqiq CVD örtük prosesi TaC ilə örtülmüş borudan minimum qaz atılmasını və ya hissəciklərin əmələ gəlməsini təmin edərək, həssas vafli səthləri və cihazın işini poza biləcək çirklənmənin qarşısını alır.

Sarsılmaz Kimyəvi Müqavimət:TaC ilə örtülmüş borunun kimyəvi təsirsizliyi aşındırma, çökmə və yumşalma kimi yarımkeçirici proseslərdə istifadə olunan geniş spektrli korroziyalı qazlara, reaktiv ionlara və plazma mühitlərinə müstəsna müqavimət göstərir. Bu möhkəm kimyəvi dayanıqlıq borunun ömrünün uzadılmasına, texniki xidmət tələblərinin azaldılmasına və ümumi sahibliyin aşağı qiymətinə çevrilir.

Uzun xidmət müddəti üçün təkmilləşdirilmiş mexaniki dayanıqlıq:TaC örtüyü ilə qrafit substratı arasındakı güclü birləşdirmə qüvvəsi, TaC ilə örtülmüş borunun xas sərtliyi ilə birlikdə aşınmaya, aşınmaya və mexaniki stresə qarşı müstəsna müqavimət təmin edir. Bu gücləndirilmiş davamlılıq daha uzun xidmət müddətinə və dəyişdirmə üçün azaldılmış dayanma müddətinə, prosesin səmərəliliyini və məhsuldarlığını artırır.