TaC örtüklü Seal Ring

Semicorex TaC ilə örtülmüş Seal Ring, yarımkeçirici proseslərdə istifadə olunan geniş spektrli korroziyalı qazlara və kimyəvi maddələrə, o cümlədən plazma aşındırma kimyasına (məsələn, flüor, xlor, brom), qatqı maddələrinə (məsələn, bor, fosfor, arsenik) və aqressiv maddələrə qarşı əla inertlik nümayiş etdirir. təmizləyici maddələr. Bu hərəkətsizlik möhürlərin deqradasiyası və həssas proses kameralarının çirklənməsinin qarşısını alır.

Ərimə nöqtəsi 3800°C-dən yuxarı olan TaC ilə örtülmüş Seal Ring, vafli emal zamanı rast gəlinən yüksək temperaturda struktur bütövlüyünü və mexaniki möhkəmliyini qoruyur. Bu, yüksək temperaturda tavlama, çökmə və aşındırma prosesləri zamanı etibarlı sızdırmazlıq performansını təmin edir.

TaC ilə örtülmüş Seal Ring-in həddindən artıq sərtliyi və aşağı sürtünmə əmsalı aşınmaya, cızılmaya və aşınmaya qarşı müstəsna müqavimət təmin edir. Bu, təkrar hərəkət və ya vaflilər və digər komponentlərlə təmas hissəciklərin yaranmasına və möhürlənməyə səbəb ola biləcəyi dinamik sızdırmazlıq tətbiqlərində çox vacibdir.

TaC ilə örtülmüş Seal Ring, hətta yüksək temperaturda da çox aşağı qaz buraxma sürətlərini nümayiş etdirir və bu onları yüksək vakuum tətbiqləri üçün ideal edir. Bu, prosesin təmizliyini təmin edir və həssas vafli səthlərdə arzuolunmaz çirkləndiricilərin çökməsinin qarşısını alır.

Yarımkeçirici Tətbiqlərdə Xüsusi Faydalar:

Uzadılmış möhür ömrü:TaC ilə örtülmüş Seal Ring kimyəvi hücuma, istilik deqradasiyasına və mexaniki aşınmaya qarşı üstün müqavimət təmin edərək, möhürlərin ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə artırır. Bu, möhürlərin dəyişdirilməsi tezliyini azaldır, dayanma müddətini və texniki xidmət xərclərini minimuma endirir.

Təkmilləşdirilmiş proses məhsuldarlığı və vafli keyfiyyəti:TaC ilə örtülmüş Seal Ring inert təbiəti hissəciklərin əmələ gəlməsini və çirklənməsini minimuma endirir, daha yüksək proses məhsuldarlığına və vafli keyfiyyətinin yaxşılaşmasına səbəb olur. Bu, ciddi qüsurlara dözümlülüklərə malik yüksək performanslı yarımkeçirici cihazların istehsalı üçün çox vacibdir.

Təkmilləşdirilmiş Avadanlığın İstifadə müddəti və Məhsuldarlığı:Daha uzun möhür istifadə müddəti və azaldılmış texniki xidmət tələbləri avadanlığın işləmə müddətinin və ümumi məhsuldarlığın artmasına kömək edir. Bu, hasilatı maksimuma çatdırmaq və yüksək həcmli yarımkeçiricilər istehsalının tələblərini ödəmək üçün çox vacibdir.