Tac örtülmüş planet plakası

Semikorex Tac örtülmüş planetar plaka, MOCVD reaktorların içərisində əsas komponent kimi xidmət edir, səthi boyunca düzülmüş çoxsaylı vafli cibləri ilə xarakterizə olunan bir planetar dizaynı nümayiş etdirir. Bu ciblər hər hansı bir epitaxial təbəqənin böyümə mərhələsi, sabitləşdirici substrat kafekləmə mərhələsi zamanı etibarlı şəkildə yerləşdirilməsi və yüksəlmiş proses temperaturu altında substrat hərəkətini minimuma endirmək üçün xüsusi olaraq yaradılmışdır. Dəqiq cib həndəsəsi eyni prosesdə böyüdülən bütün gofretlər üçün epitaksial təbəqələrin vahid qalınlığı və substrat qüsurlarının vahidlik səviyyəsinin vahid qalınlığı üçün vacib olan ardıcıl vafli yerləşdirmə təmin edir.

Planet plakasının vacib bir dizaynı aspekti, bir daha, boşqabın səthi boyunca incə qaz axınının delikləridir. Bu deliklər diqqətlə hazırlanmış və strateji olaraq, reaktorda prekursor qazlarının axınına xüsusi olaraq təyin olunur, buna görə vahid qaz dağılması və hətta çöküntülər hər bir vaflende arasında müəyyən edilir. Hər hansı bir MOCVD prosesində qaz dinamikasının aspektləri film keyfiyyətlərini, qalınlığının vahidliyini və ümumi cihaz performansını müəyyənləşdirməkdə vacibdir. Optimallaşdırılmış deşik dizaynıTAC örtülmüşdürPlanet plitəsi, bütün gofretlərin eyni müddətdə təcrübə və reproduklenmanın yaxşılaşdırılması üçün optimal bir yol təqdim etmələrini təmin edir.

BuTac (tantal carbide) örtükDaha sonra planetli plakanın performansını və həyatını genişləndirir. Tantalum karbidi olduqca sərt, kimyəvi cəhətdən inert və termal keçirici, həddindən artıq mocvd mühitləri üçün əla bir örtük halına gətirir. Epitaxy zamanı reaktordakı komponentlər yüksək temperatur, reaktiv prekursor qazları və plazma məruz qalacaq. TAC örtükləri, korroziya, oksidləşmə və hissəciklər nəslindən, şişməmiş və ya şərti örtülmüş bir boşqabdan daha çox planetli plaka həyatının əhəmiyyətli bir uzanması ilə nəticələnən möhkəm bir maneə rolunu oynayır.

TAC örtülmüş planetar plakyanın uzunömürlülüyü və davamlılığı onu MOCVD sistemləri üçün səmərəli seçim halına gətirir. Davamlı TAC təbəqəsi, uzun müddət işləyərkən struktur bütövlüyü və fəaliyyətinin sabitliyini qoruyarkən təkrar istilik velosipedi və ifrat qazlarına məruz qala bilər.