Semicorex TaC ilə örtülmüş qrafit çubuq yarımkeçirici istehsalında vafli ilə dəqiq işləmə və yüksək temperatur prosesləri üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı komponentdir. Tələb olunan yarımkeçirici tətbiqlərdə optimal performans və uzunömürlülüyü təmin edən innovativ, davamlı məhsulları üçün Semicorex seçin.*
Semicorex TaC örtüklü qrafit çubuq dəqiqlik, davamlılıq və ekstremal şəraitə qarşı müqavimətin vacib olduğu qabaqcıl yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə üçün nəzərdə tutulmuş yüksək performanslı komponentdir. Bu çəngəl ən çətin şəraitdə olduqca yaxşı performans göstərən komponent yaratmaq üçün hər iki materialın unikal xüsusiyyətlərini birləşdirən Tantal Karbid (TaC) təbəqəsi ilə örtülmüş qrafit nüvədən ibarətdir. TheTaC örtüyüsərtliyi, aşınma müqaviməti və yüksək temperaturlara tab gətirmə qabiliyyəti ilə tanınan odadavamlı materialdır, çuxurun mexaniki xüsusiyyətlərini əhəmiyyətli dərəcədə artırır. Əsas material kimi qrafit əla istilik keçiriciliyinə, mexaniki gücə və ölçü sabitliyinə kömək edir və onu yüksək temperaturlu mühitlər üçün ideal edir.
TheTaC örtüyüoksidləşmə, korroziya və istilik gərginliklərinə qarşı müstəsna qorunma təmin edir, örtülməmiş qrafit komponentləri ilə müqayisədə çuxurun xidmət müddətini uzadır. Bu davamlılıq daha az dəyişdirmə və daha az texniki xidmətə çevrilir və nəticədə əməliyyat xərclərini azaldır. TaC və qrafitin birləşməsi nəinki daha yaxşı performans göstərir, həm də yüksək temperatur proseslərinin sərtliyinə tab gətirərək həm istilik dövriyyəsinə, həm də kimyəvi hücumlara qarşı üstün müqavimət göstərən bir çubuqla nəticələnir. Bu, çuxuru müxtəlif tələbkar yarımkeçirici proseslər üçün vacib komponentə çevirir.
TaC ilə örtülmüş qrafit çubuq adətən vafli ilə işləmə, kristal böyüməsi, epitaksiya və kimyəvi buxar çökmə (CVD) və ya fiziki buxar çökmə (PVD) proseslərində istifadə olunur. Gofretlə işləmə tətbiqlərində, çubuq vaflilərin incə yerləşdirilməsi və çıxarılması üçün sabit və dəqiq platforma təmin edərək, çirklənmə və ya əyilmə riski olmadan təhlükəsiz idarə olunmasını təmin edir. Onun yüksək istilik keçiriciliyi vaflidə temperaturun bərabər paylanmasını qorumağa kömək edir ki, bu da yarımkeçiricilərin istehsalında ardıcıl nəticələr əldə etmək üçün vacib amildir. Silikon karbid (SiC) və ya qallium nitridi (GaN) kristallarının istehsalı kimi kristal böyüməsi tətbiqlərində çuxurun yüksək temperaturlara tab gətirmək və ekstremal şəraitdə struktur bütövlüyünü qorumaq qabiliyyəti böyüyən kristalın keyfiyyətini təmin etmək üçün çox vacibdir.
Yarımkeçirici substratda nazik material təbəqələrinin yetişdirildiyi epitaksiya proseslərində çubuq böyümə prosesi zamanı vaflinin təhlükəsiz yerdə saxlanmasında mühüm rol oynayır. Çubuq tərəfindən təmin edilən vahid temperatur paylanması təbəqələrin bərabər böyüməsini təmin edir, yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrə nail olmaq üçün çox vacibdir. Əlavə olaraq, çuxurun oksidləşməyə və korroziyaya qarşı müqaviməti onu CVD və PVD prosesləri üçün ideal seçim edir, burada substratlar vakuumda və ya reaktiv atmosferdə yerləşdirilərkən yerində saxlanılmalıdır.
TaC örtüklü qrafit çubuq yarımkeçirici istehsalında bir sıra üstünlüklər təklif edir. Onun yüksək temperatur müqaviməti kristal böyüməsi, epitaksiya və digər yüksək istilik proseslərində aşkar edilən ekstremal şərtləri idarə edə biləcəyini təmin edir. TaC örtüyünün kimyəvi təsirsizliyi o deməkdir ki, çubuq yarımkeçiricilərin istehsalında istifadə olunan geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə yüksək dərəcədə davamlıdır, çirklənmə riskini azaldır və emal olunan materialların təmizliyini qoruyur. Üstəlik, çəngəlin aşınma müqaviməti uzun müddət istifadə etdikdən sonra da onun funksionallığını və dəqiqliyini qoruyub saxlamasını təmin edir, daha uzun xidmət müddəti təklif edir və tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır.
Üstün davamlılıq, kimyəvi müqavimət və istilik sabitliyi təmin etməklə, TaC örtülmüş qrafit çubuq yarımkeçirici istehsalçılarının ardıcıl, yüksək keyfiyyətli performans üçün ona etibar edə biləcəyini təmin edir. İstər vafli işləmə, kristal böyüməsi, epitaksiya və ya çökmə proseslərində istifadə olunsun, çubuq bu tətbiqlərin müvəffəqiyyətinin təmin edilməsində mühüm rol oynayır. Həddindən artıq temperaturlara, aşınmaya və korroziyaya qarşı durmaq və vafli və alt təbəqələrlə dəqiq işləməyi təmin etmək qabiliyyəti onu müasir istehsal proseslərinin səmərəliliyinə və keyfiyyətinə töhfə verən yarımkeçiricilər sənayesində əvəzolunmaz komponentə çevirir. Çəkinin uzadılmış ömrü və azaldılmış texniki xidmət tələbləri onu həm də istehsalçılar üçün sərfəli həll yolu edir, ümumi əməliyyat səmərəliliyini artırır və istehsalatda dayanma müddətini azaldır.