Çin Keramika İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

Semicorex yarımkeçiricilərin emalını təkmilləşdirmək üçün tərəfdaşınızdır. Silisium karbid örtüklərimiz sıx, yüksək temperatur və kimyəvi maddələrə davamlıdır, bunlar tez-tez yarımkeçiricilərin istehsalının bütün dövrəsində, o cümlədən yarımkeçirici vafli və vafli emalı və yarımkeçirici istehsalı da istifadə olunur.

Yüksək təmizlikli SiC keramika komponentləri yarımkeçiricilərdəki proseslər üçün çox vacibdir. Bizim təklifimiz epitaxy və ya MOCVD üçün Silikon Karbid vafli qayıq, konsol avarları, borular və s. kimi vafli emal avadanlığı üçün sərf olunan hissələrdən ibarətdir.

Yarımkeçirici proseslər üçün üstünlüklər

Epitaksiya və ya MOCVD kimi nazik təbəqənin çökmə mərhələləri və ya aşındırma və ya ion implantı kimi vafli emal yüksək temperatura və sərt kimyəvi təmizliyə dözməlidir. Semicorex yüksək təmizlikdə silisium karbid (SiC) konstruksiyasını təmin edir, üstün istilik müqaviməti və davamlı kimyəvi müqavimət, hətta epi təbəqənin davamlı qalınlığı və müqaviməti üçün istilik vahidliyi təmin edir.

Kamera Qapaqları →
Kristal böyüməsi və vafli emalda istifadə olunan kamera qapaqları yüksək temperatura və sərt kimyəvi təmizliyə dözməlidir.

Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle yarımkeçirici istehsal proseslərində, xüsusən diffuziya və RTP kimi proseslər zamanı diffuziya və ya LPCVD sobalarında istifadə olunan mühüm komponentdir.

Proses Borusu →
Proses Borusu, RTP, diffuziya kimi müxtəlif yarımkeçirici emal proqramlarında xüsusi olaraq hazırlanmış mühüm komponentdir.

Gofret qayıqları →
Vafli qayıq yarımkeçirici emalda istifadə olunur, o, istehsalın kritik mərhələlərində zərif vaflilərin təhlükəsiz saxlanmasını təmin etmək üçün diqqətlə hazırlanmışdır.

Giriş halqaları →
MOCVD avadanlığı ilə SiC örtülmüş qaz giriş halqası Mürəkkəb böyümə yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır, ekstremal mühitdə böyük sabitliyə malikdir.

Fokus halqası →
Semicorex təmin edir Silikon Karbidlə örtülmüş fokus halqası RTA, RTP və ya sərt kimyəvi təmizləmə üçün həqiqətən sabitdir.

Gofret Çak →
Semicorex ultra-düz keramika vakuum vafli çəngəlləri, vafli ilə işləmə prosesində istifadə edilən yüksək təmizlik SiC ilə örtülmüşdür.

Semicorex həmçinin alüminium oksidi (Al2O3), silisium nitridi (Si3N4), alüminium nitridi (AIN), sirkoniya (ZrO2), kompozit keramika və s.