Sic qapaq

Semicorex SIC LID, semisküdçü emal üçün xüsusi olaraq hazırlanmış vacib bir hissədir. Epitaxy, ion implantasiya və yüksək temperaturlu tətbiqlərdə ən sərt mühitlər üçün hazırlanmışdır. Son dərəcə sabit bir maddi xüsusiyyətlərə malik olan və mühəndis dəqiqliyi olan ultra təmiz silikon karbidindən hazırlanır. Uzunmüddətli ardıcıllıq, davamlılıq və təmizlik, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsal proseslərində istifadə üçün semikorex SIC qapağını seçməyin əsas səbəbləridir.

Silikon karbid (sic)Ənənəvi keramika və ya metal materiallarla müqayisədə bənzərsiz bir sıra xüsusiyyətlərə malikdir. SIC-nin əsas üstünlüklərindən biri də onun yüksək temperaturlara qarşı müqavimətidir. SIC, struktur bütövlüyünü və mexaniki sabitliyini qoruya bilər - uzun müddət yüksək temperaturda da uzun müddətdir. Bu, kimyəvi buxar çökməsi (CVD) epitaxy və ya yüksək enerji ion implantasiyası kimi proseslər üçün ideal edir. Metallar və plastiklər ekstremal temperaturda oksidləşin, oksidləşin və ya çirklənəcək, SIC ölçülü sabitliyini qoruyacaq və işlənilən boşluqlarla müsbət qarşılıqlı əlaqə qurmayacaqdır.

Kimyəvi müqavimət, SIC qapaqlarının başqa bir fərqləndirici xüsusiyyətidir. Yarımkeçirici dövrdə, korroziv qazlar, plazma və ya reaktiv kimyəvi maddələrlə qarşılaşa biləcəyiniz mühitləri işlənə bilər. O ssenarilərdə SIC səthi, o çirkləndiricilərə daha çox təsirli bir həyatla nəticələnən səthi alçaldanın qarşısını almaq üçün bir inert maneə təmin edəcəkdir. Bu uzunömürlülük azaldılmış təmir xərclərinə, avadanlıqların azaldılmasına və uzadılmış proses dövrlərində təkrarlanmasını azaldır. Bu amillər SIC LID-i ənənəvi materiallarla müqayisədə davamlı, yüksək gəlirli istehsal tələb edən Fabs üçün daha yaxşı bir seçim edir.

Kimyəvi müqavimət kimi, saflıq da yarımkeçirici tətbiqində paramountdur. İz çirkləndiricilərinin olması cihazın performansına və məhsuldarlığına mənfi təsir göstərə bilər. SIC LID, yüksək saflıq silikon karbid materiallarından hazırlanır ki, bu da proses mühitinə axan metal çirklərin mümkünlüyünü istisna edir. Bundan əlavə, bu, bugünkü yarımkeçirici istehsal tələblərini yerinə yetirməkdə krediti performansına və çirkləndiricilərin ölçülməz dəqiqliyi və nəzarəti ilə müəyyənləşdirilməli olduğu, çirkləndiricilərə və çirkləndiricilərə və kənar qüvvələrə aid olan qüvvələrə aid olan qüvvələrin və kənar qüvvələrin, bugünkü yarımkeçirici istehsal tələblərini yerinə yetirən və kənar qüvvələrə aid olan qüvvələrin, bugünkü yarımkeçirici istehsal tələblərinə təsir göstərir və çirkləndiricilərin ölçülü dəqiqliklə müəyyən edilməlidir. SIC Qapaq təkliflərinin əlavə dəyər olduğu rahatlıq. Hər bir komponent, müəyyən bir müştərinin ölçüsü, həndəsə və səthin bitməsi ilə əlaqədar ehtiyacı üçün hazırlanmışdır. Bu, qapağın müxtəlif avadanlıq modelləri və proses alətləri ilə asanlıqla daxil edilə və inteqrasiya oluna biləcəyini təmin edir.

Emalının dəqiqliyiSisQapaqlar daha sonra SIC qapaqlarının dəyərini yaxşılaşdırır. Yarımkeçirici alətlər, ölçülü uyğunluq və səth vahidliyində böyük dalğalanmalar səbəbindən ən yüksək mexaniki dəqiqlik tələb edir, hətta vahidlik və material qalınlığında kiçik dəyişikliklər, hətta materialın prosesi ardıcıllığı, ötürmə və məhsul keyfiyyəti ciddi şəkildə poza bilər. Materialların işlənməsində qabaqcıl texnologiyalar vasitəsi ilə, SIC qapaqları, qeyri-adi bir sahə qalınlığı, adətən, minlərlə / minlərlə bir düym (TIR), qeyri-adi sənaye standartlarını aşan bir düzlük, səth vahidliyi və tolerantlıqlara malikdir. Yüksək düzlük mexaniki bir uyğunluğu azaltmağa imkan verir, həm də istehsal prosesində olan şərtlərin təcrübəsi üçün laboratoriya dərəcələri üçün zəmanət təkrarlana bilər. Bu, yüksək səsli Fabs-də, şəraitin təkrarlanmasının yarımkeçirici cihazların işləməsi üçün çox vacibdir. Həssas mühəndisliyini təqib edərkən birbaşa optimallaşdırma etmək üçün danışır. SIC qapaqları tipik praktik istifadədə olduqda, məsələn, SIC LID-də reaktorun içərisində olan epitaxy-də və ya bir ion implantasiyası sistemində, və ya bir ion implantasiya sistemində, özünün yüksək güc şüalarından çıxan enerjili hissələr və xüsusiyyətləri, işləmə şərtləri və istismar şərtləri, niyə saxlanılması üçün potensial yararsızdır SIC qapaqları, möhkəm dövlət yarımkeçiricisi istehsalında sinonim olaraq təyin olunur.

Semikorex SIC LID, hər iki material elmi və maddi mühəndisliyin ən yaxşısını təmsil edir və yarımkeçirici mühitdə, yüksək temperatur tolerantları, kimyəvi müqavimət, ideal saflıq, xüsusi uydurma, xüsusi emal işləri arasında ən yaxşı performans təklif edir.