SemikoreX SIC qolu, dəqiq vafli işləmə və yarımkeçirici istehsalda yerləşdirmə üçün hazırlanmış yüksək təmizlik silikon karbid komponentidir. Semikorex seçmək, ən çox tələb olunan yarımkeçirici prosesləri dəstəkləyən misilsiz maddi etibarlılıq, kimyəvi müqavimət və dəqiq mühəndisliyi təmin edir. *
SemikoreX SIC qolu, maksimum etibarlılığı və dəqiqliyi ilə gofreti idarə etmək üçün hazırlanmış xüsusi bir cihazdır. Epitaxial reaktorlar, ion implantasiya sistemləri, termal emal sistemləri kimi inkişaf etmiş yarımkeçirici-istehsal texnikalarında geniş yayılmış silahlı silahlar kimi, boşalma silahları, təhlükəsiz və dəqiq ötürülməsi təmin etmək üçün mürəkkəb gofret işləmə mühitində geniş hərəkətə ayrılmazdır. Yüksək saflıqdan istifadə etməklə tikilmişdirsilikon karbidxammal xüsusiyyətləri ilə birləşdirilmişdir
İstisna termal və kimyəvi sabitlik və əla emal nəzarəti, SIC qolunu gələcək yarımkeçirici istehsal üçün etibarlı bir həll edin.
SIC qolunun həddindən artıq istilik mühitində müstəsna performansı var. Epitaxial böyümə, eləcə də digər yüksək temperaturlu proseslərdə, vafli idarəetmə komponentləri, adi bir materialın xüsusiyyətlərini asanlıqla pisləşdirən davamlı istiyə məruz qala bilər. Silikon karbid, həm gücü, həm də ölçülü Dəqiqliyi (son ölçülü tolerantları) yüksək temperaturda (son ölçülü tolerantları) saxlayır, bu, ötürücü və emal zamanı dəqiq oturmuş və demək olar ki, boşalma, döyüş və ya çirklənmədən kənarda qalmağı təmin edir. Bir SIC məhsulunun müstəsna performansı olan keramika; SIC qolu oksidləşmir, bir metal kimi təhrif etmir, nə də stress çatlamaları olan bir keramika kimi uğursuz performans xüsusiyyətləri yoxdur.
Kimyəvi müqavimət, SIC qolunun başqa bir müəyyənləşdirən bir xüsusiyyətidir. Yarımkeçirici mühitlərdə, aşındırıcı qazlar, reaktiv kimyəvi maddələr və plazma məruz qalması çox yaygındır. Bu cür şəraitdə pisləşən bir işləyən bir qol, təkcə mexaniki uğursuzluq, həm də gofretin çirklənməsi risk edir.Silikon karbidBu aqressiv şərtlərə tab gətirən kimyəvi cəhətdən inert bir səth təmin edir. Nəticə, səth bütövlüyünü və təmizliyini qoruyan, cihaz fəaliyyətinə güzəştə gedə biləcək çirklərdən qoruyan təmizliyi qoruyan yüksək etibarlı bir komponentdir. Bu davamlılıq avadanlıqları işdən ayırır, dəyişdirmə tezliyini azaldır və proses ardıcıllığını artırır.
Maddi dayanıqlığı xaricində, SIC qolu da yüksək dərəcədə emal dəqiqliyi ilə qarşılaşır. Vafli işləmə mikrometrə dəqiqlik tələb edir; Hətta bir az spesifikasiyadan bir qədər kənar olan tolerantlıqlar həndəsə və ya yerüstü finişin dəyişməsinə səbəb ola bilər ki, vaffer parçalanmada və ya vaffer səhv bir şəkildə risklərə səbəb ola bilər. Müasir istehsal texnologiyalarından istifadə edərək, SIC silahları düzgün tolerantlıq, düzlük və hamar səthlərlə istehsal olunur. Yüksək dəqiqlikli tətbiqlər olmaq, yüksək səviyyəli yarımkeçirici istehsal üçün ideal olan minlərlə işləmə dövrü ərzində isə kafekler və təkrarlanan performansın ardıcıl yerləşdirilməsini təmin etmək üçün idealdır.
Çox yönlülük, sic qollarının başqa bir üstünlüyüdir. Fərqli yarımkeçirici alətlər və proseslər fərqli həndələrin, ölçülərdə və dizaynlardan silah tələb edir. SIC silahları bu xüsusi dizayn xüsusiyyətlərini daxil etmək üçün dəyişdirilə bildiyindən, bu, epitaxy aləti, ion implantasiya avadanlığı və ya istilik emal reaktoru olan bir epitaxy alət, istərsə də geniş sistemlərə uyğun ola bilər. Səthi bitirmə, struktur dizayn və bitirmə də dəyişdirilə bilər və müəyyən bir tətbiqə hörmətlə ən yaxşı performans təmin etmək üçün mühəndisləşdirilə bilər.
SIC silahları da əməliyyat səmərəliliyinə malikdir. SIC-nin yüksək davamlılığı və etibarlılığı, dəyişkənliklərin nadir hallarda və iş vaxtı minimuma endirilir; hər ikisi aşağı uzunmüddətli texniki xidmət xərcləri deməkdir. İstehsal yarımkeçirici Fabs üçün bu, daha yaxşı ötürmə qabiliyyəti, istehsalda daha çox sabitlik potensialı və daha yüksək cihaz məhsuldarlığı deməkdir.
SIC silahları, həm mexaniki streslər, həm də çox ciddi emal şəraiti ilə əlaqəli vaffer köçürmə sistemlərində yarımkeçirici bir cəmiyyətdə transferli bir cəmiyyətdə tətbiqi gördülər. İon implantasiyası zamanı onları yerində saxlayaraq və ya qaz və ya istilik emal mühiti vasitəsilə ötürülən epitaxy reaktorlarına hərəkət etmək, SIC qolu təhlükəsiz, dəqiq və çirklənmə qabiliyyətsiz vafli işləmə təmin edir. Etibarlılıq, SIC silahlarının müasir yarımkeçirici avadanlıq portfelinə daxil edilməsi ilə aydın görünür.
Semikorex SIC Qol, inkişaf etmiş ən arzu olunan xüsusiyyətlərin uğurlu birləşməsidirsilikon karbid materialı, dəqiq mühəndislik və yüksək temperaturlu sabitlik. Kimyəvi sabitliyin birləşməsi, işlənmiş və dəqiq bir uydurma qabiliyyəti, SIC qolunu ən sərt yarımkeçirici proseslərdə etibarlı təmin etmək üçün uyğunlaşdırır. SIC ARM, səmərəliliyi, məhsuldarlığı və proses sabitliyi ilə bağlı uzunmüddətli əməliyyat performansında uzunmüddətli əməliyyat performansında köməkçi işləməsi üçün son istifadəçi istehlak faydaları üçün özelleştirilebilir və davamlıdır. İstehsalçılar müasir və qabaqcıl vafli idarəetmə sistemlərini və ya hətta qutu vafli idarəetmə həlləri axtaran hətta sit qolu və ya yarımkeçirici sənayesinin qabaqcıl tələbləri üçün SIC qoluna baxır və etibar edir.