Semicorex yarımkeçirici dərəcəli kvars diffuziya boruları yarımkeçirici vafli istehsalı üçün təmiz və sabit reaksiya sahəsi təmin etmək məqsədi daşıyan əsas kvars komponentləridir. Geniş və sübut edilmiş istehsal imkanları ilə Semicorex dəyərli müştərilərimizə yüksək uyğun, xüsusi dizaynlı yarımkeçirici dərəcəli kvars diffuziya boruları təqdim edə bilər.
Kvars qayıqlarıadətən yüksək temperaturda, sərt kimyəvi korroziya iş şəraitində istifadə olunur. Əməliyyat zamanı yarımkeçirici vaflilər kvars qayığına yerləşdirilir və kvars diffuziya borusuna daxil edilir. Diffuziya borusu tələb olunan temperatura (bir neçə yüz ilə bir neçə min dərəcə Selsi) çatdıqda, texnoloji qazlar (məsələn, O₂, N₂, H₂, Ar) və əlavə qazlar (məsələn, POCl₃, BBr₃) qaz diffuziya borusu vasitəsilə oksidləşmə və qazın bağlanması vasitəsilə kvars içərisinə daxil edilir. yarımkeçirici vaflilər. Bundan əlavə, diffuziya vahidliyini və dəqiqliyini yaxşılaşdırmaq üçün bəzi diffuziya prosesləri aşağı təzyiqli mühitdə aparılmalıdır.
Qabaqcıl yarımkeçirici istehsal proseslərində bu proseslərdə hər hansı bir kiçik səhv və ya çatışmazlıq sonrakı proseslərin uğursuzluğuna səbəb ola bilər. Buna görə də, yarımkeçirici istehsalının mühüm hissələri kimi, kvars diffuziya borularının keyfiyyəti əhəmiyyətli dərəcədə vacibdir və yarımkeçirici cihazların məhsuldarlığına və performansına birbaşa təsir göstərir.
Semicorex yarımkeçirici dərəcəli kvars diffuziya boruları yüksək keyfiyyətli materiallardan diqqətlə hazırlanır.yarımkeçirici dərəcəli kvarsmaterial. Aşağıdakılar onun xüsusi parametrləridir:
Parametrlər müştəri tələblərinə uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
Təcrübəli emal texnologiyamıza və etibarlı material seçimimizə güvənərək, Semicorex yarımkeçirici dərəcəlikvars diffuziya borularıçətin iş şəraitində üstün performans nümayiş etdirin:
Semicorex yarımkeçirici dərəcəli kvars diffuziya boruları heç bir deformasiya və ya zədələnmədən 1200 ℃-ə qədər yüksək temperaturlu mühitlərdə sabit işləməyə imkan verən əla yüksək temperatur müqaviməti təmin edir.
İstilik genişlənməsinin müstəsna əmsalı ilə öyünən Semicorex yarımkeçirici dərəcəli kvars diffuziya boruları asanlıqla çatlamadan və ya deformasiyaya uğramadan sürətli isitmə və ya soyutma zamanı termal stresə tab gətirə bilir.
Semicorex yarımkeçirici dərəcəli kvars diffuziya boruları yüksək temperaturlu, sərt korroziyalı mühitlərdə üstün kimyəvi təsirsizliyi təmin edir. Bu performans onların texnoloji qazlarla reaksiyası nəticəsində yaranan çirkləndiricilərin vafli keyfiyyətinə təsir etməsinin qarşısını alır.