Kvars qəbuledici dəstəyi

Yarımkeçirici istehsalının ciddi mühitində yüksək məhsuldar partiya ilə bahalı uğursuzluq arasındakı fərq çox vaxt vafli yerləşdirmənin mikroskopik dəqiqliyində olur. Semicorex Kvars Qabıq Dəstəyi Şaftı (ümumiyyətlə Epitaksial Kvars Şaftı adlanır) kimyəvi buxar çökmə (CVD) və epitaksial böyümə proseslərinin hərfi əsası kimi xidmət edir. Həddindən artıq istilik qradiyentlərinə və kimyəvi təsirlərə tab gətirmək üçün hazırlanmış bu komponent suseptorların və ya vafli daşıyıcıların maye, şaquli hərəkəti və fırlanması üçün vacibdir.

Epitaksial Proseslərdə Kvarsın Rolu

Epitaksial proses tez-tez 1000°C-dən yuxarı temperatur və ən kiçik metal çirklənmədən belə təmiz mühit tələb edir. Standart materiallar bu şərtlər altında uğursuz olur və ya qazdan çıxır. Bizim Kvars Susseptor Dəstəyimiz ultra yüksək təmizlikli sintetik əridilmiş silisiumdan hazırlanır və aşağıdakıları təmin edir:

Müstəsna Termal Sabitlik:Sürətli isitmə və soyutma dövrlərində çatlamanın qarşısını alan termal şoka yüksək müqavimət.

Kimyəvi təsirsizlik:Yarımkeçirici vaflinin bütövlüyünü saxlayaraq, prekursor qazları və təmizləyici maddələrlə reaktiv deyil.

Minimum çirklənmə:Milyonda hissələrlə (ppm) ölçülən çirklilik səviyyələri ilə atmosferin arzuolunmaz elementlərlə "dopinqlənməsi"nin qarşısını alır.

Əsas Funksiyalar və Texniki Üstünlüklər

Kvars Susseptor Dəstəyinin əsas funksiyası yarımkeçirici vafli saxlayan lövhənin şaquli və fırlanma hərəkətini asanlaşdırmaqdır.

1. Dəqiq Şaquli Yerləşdirmə

Tipik bir reaktorda vafli səthi ilə qaz girişi arasındakı məsafə filmin vahidliyini müəyyən edir. Kvars vallarımız millimetrdən aşağı toleranslara qədər işlənir. Bu, avadanlığın hərəkətə nəzarət sisteminə sensoru mütləq təkrarlanma qabiliyyəti ilə qaldırmağa və ya endirməyə imkan verir ki, bu da istehsalda olan hər bir vaflinin eyni qaz axını dinamikasına malik olmasını təmin edir.

2. Sorunsuz Hərəkət və Transfer

Yüksək həcmli istehsalda (HVM) səmərəlilik vafli işləmə sürətindən asılıdır. Dəstək şaftının təbəqə tipli dizaynı və gücləndirilmiş konstruktiv qabırğaları onun ağır qrafit və ya daşların ağırlığını daşıya bilməsini təmin edir.silisium karbid (SiC) ilə örtülmüş həssaslarəyilmədən və titrəmədən. Bu sabitlik nümunələrin müxtəlif emal kameraları və ya iş stansiyaları arasında sürətli ötürülməsi, dayanma müddətini minimuma endirmək üçün vacibdir.

3. Optimallaşdırılmış İstilik İzolyasiyası

Qəbuledicinin isti olması lazım olsa da, aşağıdakı mexaniki komponentlər çox vaxt daha soyuq qalmalıdır.Kvarstəbii istilik izolyatoru kimi çıxış edir. Şaftın içi boş, boruya bənzər quruluşu istilik keçirmə yolunu azaldır, reaktorun bazasında yerləşən mühərriki və vakuum möhürlərini qoruyur.