Yarımkeçiricilərin emalı üçün Semicorex davamlı fokus halqaları yarımkeçiricilərin emalında istifadə olunan plazma aşındırma kameralarının ekstremal mühitlərinə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Fokus üzüklərimiz sıx, aşınmaya davamlı silisium karbid (SiC) örtüyü ilə örtülmüş yüksək təmizlikli qrafitdən hazırlanmışdır. SiC örtüyü yüksək korroziyaya və istilik müqavimətinə, həmçinin əla istilik keçiriciliyinə malikdir. Fokus halqalarımızın xidmət müddətini yaxşılaşdırmaq üçün kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesindən istifadə edərək qrafit üzərinə nazik təbəqələrdə SiC tətbiq edirik.
Daha çox oxuSorğu göndərin