Məsaməli alüminium tozsoran

Semicorex məsaməli alüminium vakuum çubuqları vakuum emiş prinsipindən istifadə edərək məhsulları düzəltmək üçün daşıyıcı platformadır, onun ötürmə vakuumunun bir hissəsi adətən alüminium məsaməli keramika lövhəsidir. Məsaməli keramika boşqab bazadakı çuxura tikilir, onun perimetri əsasa yapışdırılır və möhürlənir, baza isə sıx keramika və ya metal materiallarla işlənir. İş mühitində mənfi təzyiq altında, çubuq hava çəkmək üçün keramika boşqabının içərisindəki məsaməli struktur vasitəsilə vakuum pompasına birləşdirilir və vaflinin altındakı sahə xarici atmosfer təzyiqindən çox aşağı olan bir vakuum sahəsi meydana gətirir. Güclü təzyiq fərqinin təsiri altında vafli çuxurun səthinə möhkəm yapışdırılır. Tipik olaraq, vaflinin altındakı vakuum dərəcəsi nə qədər yüksək olarsa, çubuq və iş parçası arasında yapışma bir o qədər sıx olar və adsorbsiya qüvvəsi bir o qədər güclü olar.

Yarımkeçirici və mikroelektronika sənayesində dəqiqlik sadəcə tələb deyil, standartdır. Məsaməli Alüminium Tozsoran Çubuğu (həmçinin Seramik Vakuum Çubuğu kimi tanınır) litoqrafiya, yoxlama və kəsmə prosesləri zamanı incə substratlar üçün vahid, pozulmayan əmmə təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuş mühüm komponentdir.

Məsaməli alüminium tozsoranı nədir?

Emiş yaratmaq üçün işlənmiş yivlərdən istifadə edən ənənəvi metal çubuqlardan fərqli olaraq, məsaməli keramika çubuqları xüsusi mikroskopik məsamə strukturundan istifadə edir. Bu, vakuum təzyiqinin iş parçasının bütün səthi boyunca bərabər paylanmasına imkan verir, yivli dizaynlarda tez-tez görülən "çökmə" və ya deformasiyanın qarşısını alır.

Əsas Texniki Spesifikasiyalar

Bu komponentlərin işini başa düşmək üçün yüksək təmizlikli Al2O3-ün maddi xüsusiyyətlərinə baxırıq:

Nə üçün ənənəvi materiallardansa məsaməli alüminium oksidini seçməlisiniz?

1. Üstün Düzlük və Vahidlik

Mikroskopik məsamə strukturu vakuum gücünün təmas sahəsinin 100%-nə tətbiq edilməsini təmin edir. Sənaye məlumatlarına görə, vahid emiş ənənəvi yivli paslanmayan poladdan hazırlanmış çəngəllərlə müqayisədə vafli gərginliyini 40%-ə qədər azaldır.

2. Yüksək İstilik Sabitliyi

Alüminium oksidi keramika aşağı istilik genişlənmə əmsalına (CTE) malikdir. Yüksək temperaturda emalda və ya lazer əsaslı yoxlamada çubuq öz ölçülərini saxlayır, fokus dərinliyinin sabit qalmasını təmin edir.

3. ESD və Çirklənməyə Nəzarət

Yüksək təmizlikli alüminium oksidi kimyəvi cəhətdən təsirsizdir və təbii olaraq korroziyaya davamlıdır. Bundan əlavə, bəzi mühitlərdə yarımkeçirici məhsuldarlıq itkisinin təxminən 25%-nə cavabdeh olan Elektrostatik Boşalmanın (ESD) qarşısını almaq üçün xüsusi "Qara Alüminium oksidi" və ya antistatik örtüklər tətbiq oluna bilər.

Yüksək Texnologiyalı İstehsalatda Əsas Tətbiqlər

Yarımkeçirici vafli emal

Əsas istifadə nümunəsi Fotolitoqrafiya və Gofret Probinqindədir. Həddindən artıq düzlük (<2μm) vaflinin qabaqcıl optik sistemlərin dar sahə dərinliyi daxilində qalmasını təmin edir.

İncə Film Günəş Hüceyrəsinin istehsalı

Çevik və ya son dərəcə nazik substratlar üçün ənənəvi vakuum kanalları fiziki ziyana səbəb ola bilər. Gözenekli keramikanın "nəfəs ala bilən" səthi kövrək təbəqələri qoruyaraq, yumşaq hava yastığı və ya əmmə lövhəsi kimi çıxış edir.

Optik Lens Taşlama

Məsaməli alüminium oksidi hər hansı vibrasiya və ya qeyri-bərabər təzyiqin optik aberrasiyaya səbəb olacağı dəqiq daşlama zamanı linzaları saxlamaq üçün istifadə olunur.

Tez-tez verilən suallar (FAQ)

S1: Məsaməli alüminium tozsoranını necə təmizləyirsiniz?

A: Təmizlik emişi qorumaq üçün çox vacibdir. Deionlaşdırılmış suda və ya xüsusi həlledicilərdə ultrasəs təmizləmədən istifadə etməyi tövsiyə edirik. Alüminium oksidi kimyəvi cəhətdən sabit olduğundan, əksər turşu və ya qələvi təmizləyicilərə tab gətirə bilər. Məsamələrdən nəm çıxarmaq üçün çuxurun quru bişdiyinə əmin olun.

S2: Məsamə ölçüsünü xüsusi substratlar üçün fərdiləşdirmək olarmı?

A: Bəli. Kiçik məsamələr (təxminən 10μm - 20μm) "çapın" qarşısını almaq üçün ultra nazik filmlər üçün daha yaxşıdır, böyük məsamələr isə daha ağır və ya daha məsaməli iş parçaları üçün daha yüksək hava axını təklif edir.

Q3: Maksimum işləmə temperaturu nədir?

A: Keramika özü 1500℃-dən yuxarı temperaturlara tab gətirə bilsə də, vakuum çubuq qurğusu (möhürlər və gövdələr daxil olmaqla) yapışdırma üsulundan asılı olaraq adətən 250℃ ilə 400℃ arasında qiymətləndirilir.