PECVD Günəş Qrafit Qayığı

SemicorexPECVD günəş qrafit qayıqlarıyüksək təmizlikdən dəqiqliklə hazırlanırizostatik qrafit. Semicorex-dən olan hər bir PECVD günəş qrafit gəmisi yüksək temperaturlu plazma mühitlərində sabit performansı təmin etmək üçün dəqiq emaldan, ölçülü yoxlamadan və elektrik performans testindən keçir.

PECVD emalı zamanı PECVD günəş qrafit qayığı silikon vafliləri PECVD reaksiya kamerasına aparır və RF enerji təchizatı ilə əlaqəli elektrod kimi xidmət edir. Bitişik qayıq plitələri arasında alternativ bir gərginlik tətbiq edildikdə, elektrik sahəsi qurulur. Elektrik sahəsinin təsiri altında reaktiv qazlar (silan SiH₄ və ammonyak NH₃ kimi) parıldayan boşalma keçir və plazma əmələ gətirir. Plazmadakı ionlar və sərbəst radikallar prekursor qazları parçalayaraq, silikon (Si) və azot (N) ionlarını əmələ gətirir. Bu ionlar birləşərək silisium nitridi (Si₃N₄) molekullarını əmələ gətirir, daha sonra nazik təbəqələr yaratmaq üçün silikon vaflinin səthinə yerləşdirilir.

1. Müstəsna istilik sabitliyi

Silikon vaflilərə yaxın istilik genişlənmə əmsalı ilə SemicorxPECVD günəş qrafit gəmisiisitmə zamanı cüzi ölçü dəyişikliyinə məruz qalır ki, bu da vaflilərə termal stresin səbəb olduğu zədələnmənin qarşısını etibarlı şəkildə alır.

2. Üstün elektrik və istilik keçiriciliyi

Semicorex PECVD günəş qrafit qayıqları RF cərəyanının sürətli keçirilməsini və vahid elektrik sahəsinin paylanmasını təmin edən əla elektrik keçiriciliyinə malikdir ki, bu da sabit plazma istehsalı və vahid silikon vafli çöküntüsü üçün faydalıdır. Bundan əlavə, onun üstün istilik keçiriciliyi sürətli soyutma və isitməni asanlaşdırır, istehsal səmərəliliyini artırır, eyni zamanda lokal həddən artıq istiləşmənin çökmə keyfiyyətinə təsir etməsinin qarşısını alır.

3. Güclü kimyəvi sabitlik

Premium dərəcəli materialın istifadəsi sayəsində Semicorex PECVD günəş qrafit gəmisi reaktiv qazlar və plazma ilə reaksiyaya daha az meyllidir. Bu xüsusiyyət qrafit qayıqda korroziya, deformasiya və ya çirkin çökməsi nəticəsində yaranan qeyri-bərabər elektrik sahəsinin paylanmasının qarşısını alır, beləliklə, çökmə prosesinin sabitliyini və silikon vaflilərin səth keyfiyyətini təmin edir.

4. Üstün mexaniki möhkəmlik

Möhtəşəm mexaniki gücü ilə Semicorex PECVD günəş qrafit qayığı yüksək həcmli vafli yüklərin ağırlığını asanlıqla idarə edə bilər. Onlar asanlıqla deformasiyaya uğramadan və qırılmadan uzun müddət yükləmə və daşıma zamanı yaranan mexaniki gərginliyə tab gətirə bilirlər.

5. Əla ölçülü ardıcıllıq

Semicorex PECVD günəş qrafit qayığı, dəqiq emal vasitəsilə bütün komponentlər arasında müstəsna ölçülü dəqiqliyə nail olur. O, çöküntü zamanı silikon vaflini sabit vəziyyətdə saxlayır ki, bu da vahid çökməni və avtomatlaşdırılmış istehsalla uyğunluğu təmin edir.