PBN Elektrostatik Chuck

Material xassələriPBNElektrostatik çəngəl

Yüksək Temperatur Müqaviməti və Dielektrik Gücü

ThePBNElektrostatik Çak müstəsna yüksək temperatur müqaviməti ilə tanınır, bu xüsusiyyət yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində əsasdır. Pirolitik bor nitridi (PBN), çuxurun tikintisində istifadə edilən material, ən çox istifadə edilən keramikadan daha yüksək müqavimət göstərir ki, bu da Johnsen-Rahbek (J-R) çəngəl qüvvəsini 1050°C temperaturda saxlamaq üçün çox vacibdir. Bu yüksək müqavimət, yüksək dielektrik gücü ilə birlikdə, hətta güclü istilik altında da elektrik cərəyanının pozulmasının qarşısının effektiv şəkildə alınmasını təmin edir və bununla da çuxurun işləmə etibarlılığını artırır.

İstilik vahidliyi və zərbəyə davamlılıq

PBN-nin 1500°C-dən çox temperaturda kimyəvi buxar çökdürülməsi yolu ilə hazırlanan altıbucaqlı qəfəs quruluşu onun üstün istilik vahidliyinə və zərbəyə davamlılığına kömək edir. İçindəki yüksək sıxlıqlı qızdırıcı elementlərPBNElektrostatik çəngəl ona 600–800°C temperaturda 1,1–1,5% yaxşı vahidlik ilə ardıcıl vafli termal profil əldə etməyə imkan verir. Bundan əlavə, PBN əsaslı çubuq əla termal zərbəyə davamlılıq və daha aşağı istilik kütləsi nümayiş etdirir ki, bu da onu çatlama və ya təbəqələşmə riski olmadan 23°C/san sürətlə 600°C-ə çatdırmağa imkan verir.

Fərdiləşdirilə bilən Çox Zonalı İstilik

PBN Elektrostatik Chuck, maksimum temperatur nəzarətinə imkan verən çox zonalı isitmə imkanlarına malik yüksək səviyyədə fərdiləşdirilə bilər. Bu fərdiləşdirmə səviyyəsi müxtəlif yarımkeçirici emal tətbiqləri üçün çevik həll təmin edərək, hər bir çubuqun fərdi müştərilərin xüsusi tələblərinə uyğunlaşdırıla biləcəyini təmin edir.

TətbiqləriPBNElektrostatik çəngəl

İon İmplantasiyası və Gofretlə Müalicə

PBN Elektrostatik Chuck ion implantasiyası proseslərində üstünlük verilən vafli idarəedici aparatdır. Onun vafliləri 1000°C-dən yuxarı temperaturda saxlamaq qabiliyyəti onu bazarda ən çox yönlü elektrostatik çəngəllərdən birinə çevirir. Bu universallıq yüksək sıxlıqlı, çox zonalı qızdırıcı elementlər sayəsində vafliləri çox sıx temperatur diapazonlarında saxlamaq qabiliyyəti ilə daha da gücləndirilir.

Silikon karbid ion implantasiyası

SiC ion implantasiyasının xüsusi tətbiqindəPBNElektrostatik Çak, vafli qızdırılması və istifadəsi ilə bağlı çətinliklərə uyğun həll təklif edir. Yüksək tutma gücü, yüksək istilik gücü, yaxşı istilik vahidliyi və sürətli reaksiya daxil olmaqla ikili funksiyalı imkanları onu SiC ion implantasiyasının mürəkkəb tələblərinə cavab vermək üçün ideal seçim edir.

Yarımkeçiricilərin istehsalı

PBN Elektrostatik Çəkmə yarımkeçiricilərin istehsalında mühüm rol oynayır, burada vafli ilə dəqiq işləmə və temperatur nəzarəti vacibdir. Yüksək termal şok müqaviməti və sürətli temperaturun yüksəldilməsi imkanları onu ciddi temperaturun idarə edilməsi və sürətli istilik dövriyyəsi tələb edən qabaqcıl yarımkeçirici proseslər üçün uyğun edir.