Pbn kompozit qızdırıcıları

Semikorex pbn kompozit qızdırıcıları pirolitik bor nitridinin kimyəvi inertness və elektrik izolyasiyası ilə pirolitik qrafitin əla istilik keçiriciliyini birləşdirir. Bu qızdırıcılar yüksək keyfiyyətli bir CVD (kimyəvi buxar çöküntüsü) prosesi yüksək saflıq çöküntü şəraitində istifadə edərək tətbiq olunan çox yüksək bir təmizlik qrafitindən və PBN-dən qurulmuşdur. Hər bir fərdi icmal təbəqəsi, ultra yüksək təmizlik və ardıcıl istilik xüsusiyyətlərini təmin etmək üçün çox həddindən artıq idarəetmə qabiliyyətinə malikdir. Tez və vahid istilik təmin edən qrafit nüvəsi, pbn kapsulu tərəfindən oksidləşmə və çirklənmədən qorunur; Bu, qızdırıcını vakuum qaz mühitləri və inert qaz mühitləri üçün ideal hala gətirir. Bu PBN qızdırıcıları MBE (molekulyar şüa epitaxy) reaktorlarında, CVD reaktorları və digər kristal böyümə sistemlərində istifadə üçün məqsədyönlü şəkildə hazırlanmışdır.

Pirolit Boron Nitrite-pirolitik qrafit (PBN-PG) Kompozit qızdırıcısı, substrat kimi yüksək izolyasiya pbn istifadə edən və aşağı təzyiqli istilik parçalanma kimyəvi buxar çöküntüsündə (CVD) istifadə edən bir qızdırıcıdır (CVD), keçirici pg Bu kompozit qızdırıcının əsas komponentləri pirolitik bor nitridi (pbn) və pirolitik qrafit (pg). Əla korroziyaya qarşı müqavimət və yüksək temperatur müqavimətinə görə, əsasən yarımkeçirici substrat istilik üçün istifadə olunur (MBE, Mocvd, Sparking örtüklü və s.); super keçirici substrat istilik; Nümunə təhlili zamanı nümunə istilik; elektron mikroskop nümunəsi istilik; metal istilik; Metal buxarlanma istilik mənbəyi və s.

PBN qızdırıcıları vakuumda 1600 ° C-ə qədər əməliyyat temperaturuna tab gətirə bilər və etibar edəcəyiniz hər hansı bir metal əsaslı alternativ üzərində istilik şokuna dözmək üçün təkmilləşdirilmiş bir qabiliyyətə malikdir. Qızdırıcının səthi son dərəcə hamar və sıxdır və əməliyyat zamanı əhəmiyyətli dərəcədə daha az hissəciklər istehsal edir, burada çirklənmənin yarımkeçirici vaffer emalı kimi tolerasiya edilə bilmədiyi tətbiqlər üçün vacibdir.

Kompozit quruluş qızdırıcı səthi boyunca əla istilik vahidliyi təmin edir və onun müqavimətli yolları uyğun bir istilik paylamasına icazə vermək üçün düzəldilə bilər. Bu dizayn, istifadə olunan materialların eyni istilik genişləndirilməsi əmsalları səbəbindən çatma və delaminasiya etmədən sürətlə rampa və cooldown dövrlərini təmin edir. Elektrodlar davamlı yüksək cari əməliyyata dözməyə qadirdir və vakuum da uyğun gəlir.

Semikorex, müəyyən bir tətbiq ehtiyaclarını ödəmək üçün zəruri hallarda unikal formalar, ölçülər və güc tələbləri üçün sınırsız dizayn rahatlığını təmin edir; Standart vafli ölçüləri və ya daha mürəkkəb həndəsin olmasına baxmayaraq, istehsal olunan hər bölmədə ölçülü dəqiqliyə və istilik vahidliyinə zəmanət veririk.

PBN kompozit qızdırıcıları ultra təmiz tətbiqlər üçün idealdır, o cümlədən:

• III-V və II-VI mürəkkəb yarımkeçirici emalı üçün MBE sistemləri
• Optik komponentlər üçün vakuum örtük sistemləri
• Sapphire və SIC üçün kristal böyümə sistemləri
• Tədqiqat və inkişaf laboratoriyası mühitləri üçün yüksək təmizlik istilik emalı.