Semicorex tərəfindən PBN Seramik Diski yüksək temperaturda və aşağı təzyiqlərdə bor trixlorid (BCl3) və ammonyak (NH3) istifadə edərək mürəkkəb kimyəvi buxar çökmə (CVD) prosesi vasitəsilə sintez olunur. Bu sintez üsulu müstəsna təmizliyə və struktur bütövlüyünə malik materialla nəticələnir və onu yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər üçün əvəzolunmaz edir.**
PBN Ceramic Disc-in ən əhəmiyyətli üstünlüklərindən biri onun olduqca yüksək təmizliyidir. Sintez prosesində istifadə olunan qaz halında olan materialların təmizliyi (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) adi bor nitridi tozlarının təmizliyini xeyli üstələyir. Nəticədə, PBN Seramik Disk 99,99% təmizlik səviyyəsinə nail olur, ümumi çirkləri milyonda 100 hissədən (ppm) azdır. Bu müstəsna təmizlik yarımkeçirici istehsalında çox vacibdir, burada hətta ən kiçik çirklənmə elektron komponentlərdə qüsurlara səbəb ola bilər. Belə yüksək təmizliyi təmin etməklə, PBN Ceramic Disc çirklənmə riskini minimuma endirir və bununla da yarımkeçirici cihazların etibarlılığını və məhsuldarlığını artırır.
PBN Seramik Diskin istehsalında istifadə edilən CVD prosesi ona demək olar ki, mükəmməl laylı bir quruluş verir. Bu unikal quruluş anizotrop istilik keçiriciliyini asanlaşdırır, bu xüsusiyyət soba və vakuum sistemlərində istifadə olunan komponentlər üçün çox faydalıdır. Anizotrop istilik keçiriciliyi PBN Ceramic Disc-ə istilik paylanmasını effektiv şəkildə idarə etməyə imkan verir, diskin səthində vahid temperatur nəzarətini təmin edir. Bu qabiliyyət komponentlərin nasazlığına və ya səmərəsizliyinə səbəb ola biləcək istilik qradiyentlərinin qarşısını almaq üçün dəqiq istilik idarəetməsi tələb edən yarımkeçirici istehsal proseslərində vacibdir.
Termal davamlılıq baxımından PBN Ceramic Disc nümunəvi material kimi seçilir. Vakuum mühitində 1800°C-ə, azotda isə 2000°C-ə qədər olan temperaturlara ərimə nöqtəsi nümayiş etdirmədən dözə bilir. Bu qeyri-adi istilik sabitliyi onu ekstremal temperaturların adi əməliyyat hissəsi olduğu soba komponentləri və ərimə qabları üçün ideal seçim edir. Belə yüksək temperaturda struktur bütövlüyünü qorumaq qabiliyyəti uzunömürlülüyü və etibarlılığı təmin edir, tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır və bununla da ümumi əməliyyat xərclərini azaldır.
Kimyəvi inertlik PBN Ceramic Disc-in başqa bir əlamətidir. Turşular, qələvilər, üzvi həlledicilər, ərimiş metallar və qrafit də daxil olmaqla geniş spektrli maddələrlə reaksiyalara davamlıdır. Bu inertlik xüsusilə reaktiv maddələrə məruz qalmanın tez-tez baş verdiyi yarımkeçirici istehsalda üstünlük təşkil edir. Qeyri-reaktiv qalaraq, PBN Ceramic Disc yarımkeçirici komponentlərin bütövlüyünü və funksionallığını poza biləcək arzuolunmaz kimyəvi qarşılıqlı təsirlərdən qaçınır.
PBN Ceramic Disc-in yarımkeçirici sənayedə tətbiqləri müxtəlif və təsirlidir. Onun xassələri onu müxtəlif yüksək temperatur və yüksək təmizlik mühitlərində istifadə üçün ideal material halına gətirir. Məsələn, epitaksial böyümə proseslərində disk, onun təmizliyi və istilik keçiriciliyi yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici təbəqələrin istehsalını təmin etdiyi çökmə sistemlərində həlledici komponent kimi xidmət edir. Əlavə olaraq, LED-lərin və digər optoelektronik cihazların istehsalında, PBN Seramik Disk optimal cihaz performansına nail olmaq üçün tələb olunan mürəkkəb prosesləri dəstəkləyən sabit və etibarlı platforma təmin edir.
Bundan əlavə, PBN Ceramic Disc-in rolu güc elektron cihazlarının istehsalına qədər uzanır. Bu cihazlar tez-tez yüksək temperaturda işləyir və belə şəraitdə performansını qoruya bilən materiallar tələb edir. PBN Ceramic Disc-in əla istilik və kimyəvi xassələri onu elektrik elektron sistemləri daxilində substratlar və digər komponentlər üçün uyğun seçim edir və bu cihazların səmərəliliyinə və davamlılığına kömək edir.
Bor nitridin strukturları