Müxtəlif tipli reaktorlar arasında struktur fərqləri

Reaksiya kamerasının konfiqurasiyasına əsasən, istilik müalicəsi avadanlığı (soba borusu avadanlığı) əsasən üç kateqoriyaya bölünür: şaquli soba boruları, üfüqi soba boruları və sürətli istilik emal (RTP) sobaları.

Şaquli soba borularında şaquli şəkildə yerləşdirilmiş kvars boruları var, vaflilər boruların ətrafında qızdırılır. Onların əsas üstünlükləri temperaturun vahid paylanması, dəqiq atmosfer nəzarəti, yüksək avtomatlaşdırma, daha az hissəcik çirklənməsi, kiçik yer izi və toplu emal üçün dəstək (xüsusilə 12 düymlük vaflilər üçün uyğundur), onları hazırda mövcud olan əsas avadanlıq halına gətirir. Qlobal bazarın həcmi 2024-cü ildə 3,2 milyard dollara çatdı (SEMI data). Onların çatışmazlıqlarına qaz-mayenin asanlıqla ayrılması və soba borusunun yanmasına səbəb ola biləcək mühitin aşağıya doğru axını daxildir.

Üfüqi soba borularında üfüqi şəkildə yerləşdirilmiş kvars boruları var, bir anda 100-200 vafli emal olunur. Onların üstünlüklərinə soba borusu daxilində vahid qaz-maye axını və daha dəqiq temperatur nəzarəti daxildir. Onların çatışmazlıqları arasında daha geniş yer sahəsi və yüksək alaşımlı polad ara boru dayaqlarının daha çox istehlakı daxildir. Struktur olaraq, üfüqi soba boruları vafliləri emal üçün üfüqi borular içərisində şaquli olaraq yerləşdirir.

Sürətli termal tavlama (RTP) sobaları tək vafliləri sürətlə qızdırmaq üçün halogen infraqırmızı lampalardan istifadə edir və kameranın temperaturunu dəyişmədən yalnız vafli temperaturunu dəyişən sürətli isitmə və soyutma dərəcələri təklif edir. Onlar kiçik partiyalı sürətli tavlama üçün uyğundur, lakin kütləvi istehsal üçün deyil.

Vafli emalında üfüqi soba boruları vaflini kvars qayığına yerləşdirir, o da öz növbəsində silisium karbid (SiC) dayaq çərçivəsinə söykənir. Sonra dəstək çərçivəsi kvars soba borusuna itələnir, burada vafli sabit temperatur zonasında reaksiya verir. Şaquli soba boruları isə vafli kvars qülləsinə yerləşdirir və emal üçün onu yavaş-yavaş kvars soba borusuna qaldırır. Reaksiyadan sonra vafli əyilmə və ya qırılmanın qarşısını almaq üçün yavaş-yavaş endirilir.

Semicorex yüksək keyfiyyətli sifarişlə təchiz edilmişdirkvars sobası reaktoru. Məhsullarımız üstün istilik sabitliyi, uzadılmış xidmət müddəti və müstəsna proses ardıcıllığı təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Fərdi həllər və ya əlavə texniki məlumat üçün mühəndis komandamızla əlaqə saxlayın.

Telefon: +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com