Müasir Yarımkeçirici İstehsalında Tavlama Prosesləri

Texnologiya qovşaqları daralmağa davam etdikcə, ultra dayaz qovşaqların formalaşması əhəmiyyətli problemlər yaradır. O cümlədən termal yumşalma prosesləriSürətli termal yumşalma (RTA)və flaş lampasının yumşaldılması (FLA) diffuziyanı minimuma endirərək, optimal cihazın performansını təmin edərkən yüksək çirklənmə aktivləşdirmə dərəcələrini saxlayan mühüm üsullardır.

1. Ultra dayaz qovşağın formalaşması:

Texnologiya qovşaqları kiçildikcə, ultra dayaz qovşaqların yaradılması getdikcə daha çətinləşir. Sürətli termal tavlama kimi texnikalar (RTA) və flaş lampasının yumşaldılması (FLA) diffuziyanı minimuma endirməklə yanaşı, yüksək çirklənmə aktivləşdirmə dərəcələrinə nail olmaq və bununla da cihazın optimal performansını təmin etmək üçün çox vacibdir.

2. Yüksək-k Qapı Dielektriklərinin Modifikasiyası:

Çökmədən sonra tavlama (PDA) yüksək k-qapılı dielektriklərin elektrik xüsusiyyətlərini əhəmiyyətli dərəcədə artırır. Bu proses qapı sızması cərəyanlarını azaldır və qabaqcıl məntiq və yaddaş cihazları üçün həyati əhəmiyyət kəsb edən dielektrik sabitləri artırır.

3. Metal Silisidlərin əmələ gəlməsi:

CoSi və NiSi kimi metal silisidlərin optimallaşdırılması təmas və kütlə müqavimətini yaxşılaşdırmaq üçün vacibdir. Yuvlama şərtlərinə dəqiq nəzarət ideal ərinti fazalarının yaradılmasını asanlaşdırır, ümumi cihazın səmərəliliyini artırır.

4. 3D İnteqrasiya Texnologiyaları:

3D NAND və 3D DRAM kimi texnologiyalarda yumşalma prosesləri bir neçə təbəqədə tətbiq edilməlidir. Sürətli istilik texnikaları hər bir təbəqənin optimal performansa nail olunmasında əsas rol oynayır.

Qızdırma yarımkeçiricilərin istehsalında mühüm əhəmiyyət kəsb edir, temperaturun, vaxtın və istilik büdcələrinin dəqiq idarə edilməsi ilə qəfəs zədələnməsinin təmirinə, çirklərin aktivləşdirilməsinə, film modifikasiyasına və metal silisidin əmələ gəlməsinə imkan verir. Texnologiya qovşaqları kiçildikcə qabaqcıl tavlama üsulları kimiRTA, FLA və lazer sünbüllü tavlama əsas cərəyan halına gəldi. Gələcəyə baxaraq, yumşalma prosesi yaranan materialların və cihazların tələblərini ödəmək üçün yenilik etməyə davam edəcəkdir.

Semicorex sənaye lideri təklif ediryumşaldıcı həllər, yarımkeçirici cihazlarınızın dəqiqlik və etibarlılıqla ən yüksək performans standartlarına cavab verməsini təmin etmək.

Hər hansı bir sualınız varsa və ya əlavə məlumatlara ehtiyacınız varsa, bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin.

Əlaqə telefonu +86-13567891907

E-poçt: sales@semicorex.com